12599.形貌與變形非接觸測量的采樣云紋法

1、碩士學(xué)位論文形貌與變形非接觸測量的采樣云紋法NoncontactMorphologyandDeformationMeasurementbySamplingMoir6Method學(xué)號(hào)：21303006大連理工大學(xué)DalianUniversityofTechnology大連理工大學(xué)碩士學(xué)位論文摘要由于透明物體存在高流動(dòng)性、高透明度和高反射性等問題，傳統(tǒng)投影條紋法和傅里葉變換法無法測量透明物體三維形貌和變形。同時(shí)，有關(guān)微裂紋和晶體位錯(cuò)理論的實(shí)

2、驗(yàn)證據(jù)非常少，這是由于觀察工具必須保證具有較高分辨率，而且測量工具必須具有表征微納尺度變形的能力，因此，微納米尺度變形測量有非常高的挑戰(zhàn)性。在介紹一維和二維采樣云紋法基本原理的基礎(chǔ)上，本文通過數(shù)值仿真和平動(dòng)實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證了采樣云紋法的測量精度和誤差補(bǔ)償方法，顯示出二維采樣云紋法的測量精度要比一維采樣云紋法高一個(gè)數(shù)量級(jí)。同時(shí)，提出了測量透明和不透明物體形貌的采樣云紋法基本光路，實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證了采樣云紋法可用于測量物體形貌，與相移法和傅立葉變換方法具有

3、相同的精度。應(yīng)用采樣云紋法研究了環(huán)氧樹脂聚合物液滴的固化變形行為、碳纖維／環(huán)氧樹脂界面的熱變形行為，單晶Si的斷裂變形行為，以及單晶Au的位錯(cuò)變形行為。得到對(duì)應(yīng)的固化形貌過程、界面熱變形程度、裂紋和位錯(cuò)變形場，上述結(jié)果不僅有利于相關(guān)理論研究提供實(shí)驗(yàn)依據(jù)，而且也驗(yàn)證了應(yīng)用采樣云紋法的可行性。顯示出該方法適用于從mm、gm到nm不同尺度下的變形分析，體現(xiàn)了采樣云紋法具有非接觸、高速和低成本等優(yōu)點(diǎn)。關(guān)鍵詞：采樣云紋法；形貌測量；變形測量：位錯(cuò)