半導(dǎo)體廠房空調(diào)系統(tǒng)節(jié)能研究(1)

1、論文題目：半導(dǎo)體廠房空調(diào)系統(tǒng)節(jié)能研究專業(yè)：供熱、供燃氣、通風(fēng)及空調(diào)工程碩士生：石靜宜（簽名）指導(dǎo)教師：姬長發(fā)（簽名）摘要近年來，隨著半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)在我國的高速發(fā)展，潔凈廠房的總面積快速增長，其巨大的建筑能耗已成為世界性節(jié)能運動中不可忽視的因素。特別是對于24小時運轉(zhuǎn)的工廠，電能的消耗是非常大的，降低其運行能耗尤為重要。本文主要從對電能的節(jié)省著手，通過數(shù)值模擬和對半導(dǎo)體廠房實際數(shù)據(jù)的統(tǒng)計分析及經(jīng)濟性比較，得出了半導(dǎo)體廠房室內(nèi)空氣質(zhì)量控制的方法

2、及空調(diào)系統(tǒng)的節(jié)能措施，為該類建筑的節(jié)能提供理論依據(jù)和設(shè)計參考。根據(jù)半導(dǎo)體潔凈廠房的氣流組織理論與現(xiàn)有的兩種氣流方式，運用CFD數(shù)值模擬對車間的氣流組織進行節(jié)能研究。在CFD模擬過程中采用了有限容積法，使用Fluent軟件對兩種氣流組織形式在不同送風(fēng)速度下的溫度場和速度場進行模擬。結(jié)果表明，在ISO6級的亂流潔凈室中，上送側(cè)回的氣流方式對車間的凈化效果較好，溫度場及速度場更均勻，也有利于保持潔凈室的潔凈度。在相同潔凈度的要求下，上送側(cè)回可

3、以通過減少潔凈室的換氣次數(shù)，進而減少送風(fēng)量，對于潔凈室的節(jié)能意義重大。通過半導(dǎo)體潔凈廠房中近一年空調(diào)循環(huán)水系統(tǒng)冷源及末端能耗的實際數(shù)據(jù)，分析并研究了其能耗組成及節(jié)能潛力，提出了切實可行的節(jié)能措施。研究發(fā)現(xiàn)，對于能耗占全廠能耗30%以上的冷水機組在全年滿負荷運行時間少于20%的情況中，采用增加變頻器的方法節(jié)能更有效，其COP值遠大于額定值。同時，在循環(huán)水系統(tǒng)中應(yīng)用變頻水泵，水泵的運行更加經(jīng)濟，壽命更長，使得運行工程師的維護保養(yǎng)也較之以前簡

4、單。變頻器的使用在部分負荷的情況下，其獨特的軟啟動減少了對電網(wǎng)的沖擊，根據(jù)水泵及風(fēng)機的運行曲線發(fā)現(xiàn)，變頻器的應(yīng)用具體節(jié)電在30%以上。關(guān)鍵詞：潔凈廠房；空調(diào)節(jié)能；氣流組織；數(shù)值模擬；變頻技術(shù)；研究類型：應(yīng)用研究Subject:ResearchonEnergysavingofHVACSysteminSemiconductplantSpecialty:HeatingGassupplyingVentilationAirConditioning

5、EngineeringName:ShiJingyi(Signature)Instruct:JiChangfa(Signature)ABSTRACTWiththedevelopmentofthesemiconductindustriesinrecentyearscleanroomincreasesrapidlythehighenergyconsumptioninthebuildingisgettingmemeattentionofwldw

6、ide.Especiallyftheoperationoftheplant24hoursthepowerconsumptionisverylargereducingitsenergyconsumptionisparticularlyimptant.Thispaperstartingfromtheenergysavingsthroughnumericalsimulationcalculationcomparisonoftheactuald

7、atatheeconomicanalysisresultstosemiconductplantindoairqualitycontrolHVACsystemsavingenergymeasuresprovideatheeticalbasisreferencefthedesignofenergyefficientbuildingclass.Basedonthetheyexistingairflowintwowayssemiconductc

8、leanroomsthispaperuseofCFDnumericalsimulationofairflowtoshopfenergyresearch.CFDsimulationinthisarticleusingthefinitevolumemethodusetheFluentsoftwarefbothfmsofairflowtemperaturevelocityfieldsimulationunderdifferentairspee

9、ds.SimulationresultsshowthattheturbulencelevelinISO6cleanroomsentbackairflowmeasurementofcleaningbetterairflowunifmitystabilitycleanlinessunifmdistributionoftemperaturevelocity.Attherequestofthesamecleanlinessthesendings

10、idebackbyreducingthenumberofcleanroomventilationtherebyreducingtheamountofcleanroomairfcleanroomconsumptionisthemeaningofsignificant.ByactualdatasemiconductcleanroomairconditioningcirculationwatersystemfnearlyayeartheAHU

11、energyconsumptionanalyzestudyitscompositionenergysavingpotentialproposedapracticalenergysavingmeasures.Theresultfoundthatthetotalenergyconsumptionfmethan30%ofthechillerrunningfullcapacitythroughouttheyearlessthan20%.Incr