25163.mems熱式風速風向傳感器結構設計及性能仿真_第1頁
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文檔簡介

1、東南大學碩士學位論文MEMS熱式風速風向傳感器結構設計及性能仿真姓名：陳婧婧申請學位級別：碩士專業(yè)：電子科學與技術；微電子學與固體電子學指導教師：黃慶安20120518AbstractAbstractInordertoliveinharmonywithnatureandtakeagoodadvantageofit，peopletrybesttogetalltheinformationofitsuchasmeteorologicalAlo

2、toftestingequipmentsareinvitedasweknownAsanimportantpartofthemeteorologicalmonitotingmeasurementofwindspeedanddirectionprovideimportantinformationinthemeteorologicalmonitotingMEMSWindsensorsiScharacteristicofmoresmartrel

3、iableandatalowerCOstthantraditionalmechanicaltestingequipmentsThemeteorologicalmonitoringsystemhasbeenmoreintelligencebyusingMEMStechnologyTheresearchinMEMSwindsensorsinpaperwithisothermalpartthatiSbasedonCMOStechnologyT

4、hispaperincludesthreeparts，suchasdesignofchipstructure，ANSYSanalogsimulationandfunctiontestFirst，throughresearchingtheMEMSwindsensorwefredthatinordertoimprovereliabilityconsistencyintegratedlevelachipstructurebasedonstan

5、dardCMOSprocessesisimperativeThentheheaterpartofthermalwindsensorisoptimizedfromsingleheatertodouble，bynowit’SfourAtthesametime，wefindthattheconsistencyofcenterstructureisbetterthancrossstructureAfterthedesignofheaterdis

6、tributeIhavealotanalogsimulationofdifferentsubstratematerialofwindchip，analysistheinnerthermaldistribution，includeChipcentertemperaturetemperaturedifferenceofdiaerentteStpointAccordingtothethermalshortagesofsiliconmateri

7、al，weproposetheisothermalstructureplanFirst，analogsimulatestructureperformance，includestructure，depthofisothermal，distancefromheaterofisothermalandSOonThen，wefinishthelayoutandtapeoutAtlast，weverifytheperformanceofnewstr

8、ucturethroughtestinginwindholeInthepaperwemakesomeoptimizationfromtheoriginalstructure，improvetheintegratedlevelofMEMSsensorsandmakeMEMSsensorstobeindustrializationjustasICproductsKeywords：thermalMEMSwindsensors，structur

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