MEMS風(fēng)速風(fēng)向傳感器控制與檢測系統(tǒng)研究.pdf

1、東南大學(xué)碩士學(xué)位論文MEMS風(fēng)速風(fēng)向傳感器控制與檢測系統(tǒng)研究研究生：張燕波專業(yè)：微電子學(xué)與固體電子學(xué)指導(dǎo)教師：秦明(教授)中國南京東南大學(xué)MEMS教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室二。一。年四月東南大學(xué)學(xué)位論文獨(dú)創(chuàng)性聲明本人聲明所呈交的學(xué)位論文是我個人在導(dǎo)師指導(dǎo)下進(jìn)行的研究工作及取得的研究成果。盡我所知，除了文中特別加以標(biāo)注和致謝的地方外，論文中不包含其他人已經(jīng)發(fā)表或撰寫過的研究成果，也不包含為獲得東南大學(xué)或其它教育機(jī)構(gòu)的學(xué)位或證書而使用過的材料。與我一

2、同工作的同志對本研究所做的任何貢獻(xiàn)均已在論文中作了明確的說明并表示了謝意。研究生簽名：趣絲毽日期：竺絲：!：!!東南大學(xué)學(xué)位論文使用授權(quán)聲明東南大學(xué)、中國科學(xué)技術(shù)信息研究所、國家圖書館有權(quán)保留本人所送交學(xué)位論文的復(fù)印件和電子文檔，可以采用影印、縮印或其他復(fù)制手段保存論文。本人電子文檔的內(nèi)容和紙質(zhì)論文的內(nèi)容相一致。除在保密期內(nèi)的保密論文外，允許論文被查閱和借閱，可以公布(包括刊登)論文的全部或部分內(nèi)容。論文的公布(包括刊登)授權(quán)東南大學(xué)研