提高硅片切割質(zhì)量的研究

1、提高硅片切割質(zhì)量的研究提高硅片切割質(zhì)量的研究【摘要】硅片切片的質(zhì)量和效率直接影響到整個硅片生產(chǎn)的全局，關(guān)系到成本的高低。本文分析了太陽能硅片的切割影響因素，并針對不同問題，對其進(jìn)行了各個工藝改進(jìn)的研究探討?！娟P(guān)鍵詞】硅片；切割；質(zhì)量；研究引言太陽能光伏行業(yè)是一個新興的綠色能源行業(yè)，隨著世界各國對綠色能源的重視，光伏行業(yè)迅速發(fā)展，高質(zhì)量、低成本是企業(yè)發(fā)展的關(guān)鍵。隨著國家對可再生能源的扶持力度不斷加大，我國光伏產(chǎn)業(yè)駛?cè)胝摺翱燔嚨馈保a(chǎn)能迅

2、速膨脹。對于以硅片為基底的光伏電池來說，硅片是晶體硅光伏電池技術(shù)中最昂貴的部分，晶體硅原料和切割成本在電池總成本中占據(jù)了最大的部分，所以降低這部分的制造成本對于提高太陽能對傳統(tǒng)能源的競爭力至關(guān)重要。硅片切片作為硅片加工工藝流程的關(guān)鍵工序，其加工效率和加工質(zhì)量直接關(guān)系到整個硅片生產(chǎn)的全局。1.硅片切割技術(shù)太陽能硅片的線切割機(jī)理就是機(jī)器導(dǎo)輪在高速運轉(zhuǎn)中帶動鋼線，從而由鋼線將聚乙二醇和碳化硅微粉混合的砂漿送到切割區(qū)，在鋼線的高速運轉(zhuǎn)中與壓在線

3、網(wǎng)上的工件連續(xù)發(fā)生摩擦完成切割的過程。在整個切割過程中，對硅片的質(zhì)量以及成品率起主要作用的是個硅塊可以生產(chǎn)更多的硅片，降低切割線直徑還可以在同樣的硅塊長度下切割出更多的硅片，提升機(jī)臺產(chǎn)量，然而，切割線更細(xì)更容易斷裂。更高的切割速度將會提高生產(chǎn)效率，但是速度的增快會加大切割線的拉力，增加切割線斷裂的風(fēng)險。由于同一硅塊上所有硅片是同時被切割的，只要有一條切割線斷裂，所有部分切割的硅片都不得不丟棄。雙向切割用線量為單向切割的一半，但是，鋼線經(jīng)

4、過一次切割后會磨損變形，多次切割就會對硅片表面造成影響，此時對鋼線的強(qiáng)度及韌性要求增加。2.工藝優(yōu)化方法2.1減少破方斷線、切斜工藝目前破方采用金剛線的切割方式，利用水來對鋼線進(jìn)行冷卻，由于在太陽能級高純硅的制備及破方切割過程中，除了得到硅塊外，中間環(huán)節(jié)也有大量晶體硅以小顆?；蚴俏m的形式存在，所以對滑輪的轉(zhuǎn)動靈活性及其保護(hù)以及添加適量的防垢劑，防止硅粉沉積影響切割質(zhì)量，是相當(dāng)有必要的。具體方案如下：1）對機(jī)床所有轉(zhuǎn)動不靈活的滑輪進(jìn)行維