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1、氦質(zhì)譜檢漏儀使用說明豪威真空光電股份有限公司文件共17頁第1頁氦質(zhì)譜檢漏儀使用說明一、一、檢漏儀及其真空系統(tǒng)的組成檢漏儀及其真空系統(tǒng)的組成VARIAN95950檢漏儀檢漏漏率范圍從1X103(毫升秒)到2X1010(毫升秒)(相當于30年漏1毫升),它主要由質(zhì)譜管、高真空泵、熱偶規(guī)管、一系列按鈕控制的閥、測試接口、真空和漏率指示,以及電路板等部分組成,其真空系統(tǒng)結構為(分子泵型),如圖1:圖1檢漏儀真空系統(tǒng)結構圖(分子泵型)氦質(zhì)譜檢漏儀
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