電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計規(guī)范

1、《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》3.2.5單向流和混合流潔凈室（區(qū)）的的噪聲級（空態(tài)）不應(yīng)大于65dB（A），非單向流潔凈室（區(qū)）的噪聲級（空態(tài)）不應(yīng)大于60dB（A）。4.3.31按火災(zāi)危險性分類，甲、乙類的房間與相鄰的生產(chǎn)區(qū)段或房間之間，或有防火分隔要求時，應(yīng)設(shè)隔墻；5.4.2物料凈化用室與潔凈室（區(qū)）之間應(yīng)設(shè)置氣閘室或傳遞窗。5.5.6潔凈室（區(qū)）內(nèi)設(shè)置真空泵時，應(yīng)符合下列規(guī)定：1使用油潤滑的真空泵應(yīng)設(shè)置除油裝置，除油后尾氣應(yīng)排入排

2、氣系統(tǒng)；2對傳輸含有可燃?xì)怏w的真空泵，可燃?xì)怏w濃度超過爆炸下限的20%時，應(yīng)設(shè)尾氣處理裝置，在排入排氣系統(tǒng)前應(yīng)去除或稀釋可燃?xì)怏w組分；3傳輸易燃、自燃化學(xué)品或高濃度氧氣的真空泵，應(yīng)采用不燃泵油，并應(yīng)配置氮氣吹掃。氮氣吹掃控制閥應(yīng)與生產(chǎn)工藝設(shè)備操作系統(tǒng)聯(lián)鎖。6.2.1潔凈廠房的耐火等級不應(yīng)低于二級。6.2.6在綜合性廠房的一個防火分區(qū)內(nèi)，凈生產(chǎn)區(qū)域與一般生產(chǎn)區(qū)域之間應(yīng)設(shè)置不燃燒體隔斷設(shè)施。不燃燒體隔斷設(shè)施應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《潔凈廠房設(shè)計

3、規(guī)范》GB50073的有關(guān)規(guī)定。6.2.7潔凈廠房的安全出口的設(shè)置，應(yīng)符合下列規(guī)定1每一生產(chǎn)層、每個防火分區(qū)或每一潔凈室的安全出口數(shù)目應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》GB50073的有關(guān)規(guī)定2安全出口應(yīng)分散布置并應(yīng)設(shè)有明顯的疏散標(biāo)志安全疏散距離應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計防火規(guī)范》GB50016的有關(guān)規(guī)定。安全疏散用門應(yīng)向疏散方向開啟并應(yīng)設(shè)觀察玻璃窗3丙類生產(chǎn)的電子工業(yè)潔凈廠房在關(guān)鍵生產(chǎn)設(shè)備自帶火災(zāi)報警和滅火裝置以及回風(fēng)氣流中設(shè)

4、有靈敏度嚴(yán)于0.01%obsm的高靈敏度早期火災(zāi)報警探測系統(tǒng)后安全疏散距離可按工藝需要確定但不得大于本條第2款規(guī)定的安全疏散距離的1.5倍。注：對于玻璃基板尺寸大于1500mm1850mm的TFTLCD廠房，且潔凈生產(chǎn)區(qū)人員密度小于0.02人㎡，其疏散距離應(yīng)按工藝需要確定，但不得大于120m。6.2.8潔凈廠房的潔凈區(qū)各層外墻應(yīng)設(shè)置專用消防口，并應(yīng)符合下列規(guī)定：1潔凈區(qū)各層專用消防口的設(shè)計，應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》GB50

5、073的有關(guān)規(guī)定；2潔凈廠房外墻上的吊門、電控自動門以及裝有柵欄的窗，均不應(yīng)作為專用消防口。6.2.9潔凈廠房內(nèi)有爆炸危險的房間應(yīng)靠建筑外墻布置，且不得與疏散安全口（樓梯間）貼鄰。有爆炸危險的房間的防爆措施、泄爆面積等應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計防火規(guī)范》GB50016的有關(guān)規(guī)定。6.3.1潔凈廠房的建筑圍護(hù)結(jié)構(gòu)和室內(nèi)裝修，應(yīng)選用氣密性良好，且在溫度和濕度變化時變形小的材料。潔凈室裝飾材料及其密封材料不得采用釋放對電子產(chǎn)品品質(zhì)有影響物質(zhì)

6、的材料。裝修材料的燃燒性能應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑內(nèi)部裝修設(shè)計防火規(guī)范》GB50222的有關(guān)規(guī)定。裝修材料的煙密度等級不應(yīng)大于50，材料的煙密度等級應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑材料燃燒或分解的煙密度試驗方法》GBT8627的有關(guān)規(guī)定。7.1.6潔凈室（區(qū)）與周圍的空間應(yīng)保持一定的靜壓差，靜壓差應(yīng)符合下列規(guī)定：1各潔凈室（區(qū)）與周圍空間的靜壓差應(yīng)按生產(chǎn)工藝要求確定；2不同等級的潔凈室（區(qū)）之間的靜壓差應(yīng)大于等于5Pa；3潔凈室（區(qū)）與非潔

7、凈室（區(qū)）之間的靜壓差應(yīng)大于5Pa；10.1.6可燃?xì)怏w管道和有毒氣體管道不得穿過不使用此類氣體的房間；當(dāng)必須穿過時應(yīng)設(shè)套管或雙層管。10.1.72不得出現(xiàn)不易吹除的“盲管”等死空間；3管道系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置吹掃口和取樣口。10.1.81可燃?xì)怏w管道設(shè)置閥門時應(yīng)設(shè)置閥門箱，閥門箱應(yīng)設(shè)置氣體泄漏報警和事故排風(fēng)裝，報警裝置應(yīng)與相應(yīng)的事故排風(fēng)機(jī)聯(lián)鎖；3引至室外的放散管，應(yīng)設(shè)置防雷保護(hù)設(shè)施；4應(yīng)設(shè)置導(dǎo)除靜電的接地設(shè)施。10.2.5氣體純化間（站）或氣

8、體入口室內(nèi)，設(shè)有氫氣等可燃?xì)怏w純化裝置或管道時，氣體純化間（站）或氣體入口室的火災(zāi)危險性應(yīng)按甲類確定，并應(yīng)符合下列規(guī)定：1應(yīng)靠外墻設(shè)置，并應(yīng)設(shè)置防爆泄壓設(shè)施；2氫氣等可燃?xì)怏w引入管道上應(yīng)設(shè)置自動切斷閥；3應(yīng)具有良好的自然通風(fēng)，并應(yīng)設(shè)置事故排風(fēng)裝置；4應(yīng)設(shè)置氣體泄漏報警裝置，并應(yīng)與事故排風(fēng)裝置聯(lián)鎖；5應(yīng)設(shè)置導(dǎo)除靜電的接地設(shè)施。10.2.6潔凈廠房內(nèi)的氧氣管道等，應(yīng)采取下列安全技術(shù)措施：1管道及閥門附件應(yīng)經(jīng)嚴(yán)格的脫脂處理；2應(yīng)設(shè)置導(dǎo)除靜電的

9、接地設(shè)施；3氧氣引入管道上應(yīng)設(shè)置自動切斷閥。10.4.2潔凈廠房內(nèi)的特種氣體的儲存分配間應(yīng)采用耐火極限不低于2.0h不燃燒體的隔墻與潔凈室（區(qū)）分隔，隔墻上的門窗應(yīng)為甲級防火門窗。10.4.31特種氣體鋼瓶（含硅烷或硅烷混合物）應(yīng)設(shè)置在具有連續(xù)機(jī)械排風(fēng)的特氣柜中；2排風(fēng)機(jī)、泄漏報警、自動切斷閥均應(yīng)設(shè)置應(yīng)急電源；3一個特氣分配系統(tǒng)供多臺生產(chǎn)設(shè)備使用時，應(yīng)設(shè)置多路閥門箱；10.4.5硅烷或硅烷混合物的氣瓶應(yīng)存放在潔凈廠房建筑外的儲存區(qū)內(nèi)。儲

10、存區(qū)的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定：1儲存區(qū)應(yīng)至少三面敞開，氣瓶應(yīng)固定在鋼制框架上；2氣瓶或氣瓶組與周圍的構(gòu)筑物或圍欄的間距應(yīng)大于3.0m；3儲存區(qū)頂棚的高度應(yīng)大于3.5m。11.2.11化學(xué)品儲存間（區(qū)）的儲量不應(yīng)超過該化學(xué)品24h的消耗量；2化學(xué)品應(yīng)按物化特性分類儲存；當(dāng)物化性質(zhì)不容許同庫儲存時，應(yīng)采用實體墻分隔；3危險化學(xué)品應(yīng)儲存在單獨的儲存間或儲存分配間內(nèi)，與相鄰房間應(yīng)采用耐火極限大于1.50h的隔墻分隔；5各類化學(xué)品儲存、分配間應(yīng)設(shè)置機(jī)