真空系統(tǒng)及有關(guān)術(shù)語(yǔ)

1、★真空系統(tǒng)及有關(guān)術(shù)語(yǔ)真空系統(tǒng)vacuumsystem由真空容器和產(chǎn)生真空、測(cè)量真空、控制真空等的組件組成。真空機(jī)組pumpsystem由產(chǎn)生真空、測(cè)量真空和控制真空等的組件組成。有油真空機(jī)組pumpsystemusedoil用油作工作液或用有機(jī)材料密封的真空機(jī)組。無(wú)油真空機(jī)組oilfreepumpsystem不用油作工作液和不用有機(jī)材料密封的真空機(jī)組。連續(xù)處理真空設(shè)備continuoustreatmentvacuumplant能將處理研

2、究的材料或工件連續(xù)地送入到真空容器中，并且又能從真空室輸出而不必中斷設(shè)備連續(xù)工序的一種真空設(shè)備。閘門式真空系統(tǒng)vacuumsystemwithanairlock在不破壞真空情況下，能將工件或材料通過(guò)一個(gè)或若干個(gè)真空閘室導(dǎo)入或?qū)С龅囊环N真空系統(tǒng)。壓差真空系統(tǒng)differentiallypumpedvacuumsystem通過(guò)氣體節(jié)流，使互相連接的各個(gè)室分別用單獨(dú)真空泵抽氣以達(dá)到維持壓差（壓降或壓力梯段）目的的一種真空系統(tǒng)。進(jìn)氣系統(tǒng)gasa

3、dmittancesystem在規(guī)定的和控制的條件下，能將氣體或氣體混合物放入到真空系統(tǒng)的一種裝置?！镎婵障到y(tǒng)特性參量抽速volumeflowrateofapumpingunit在抽氣裝置進(jìn)氣口測(cè)得的抽速。抽氣量throughputofapumpingunit流經(jīng)抽氣裝置進(jìn)氣口的氣體流量。真空系統(tǒng)的放氣速率degassing(outgassing)throughputofavacuumsystem由真空系統(tǒng)所有表面解吸氣體所產(chǎn)生的氣體流

4、量。注：在真空系統(tǒng)內(nèi)部經(jīng)常出現(xiàn)一種漏氣假象。這種情況叫做“虛漏”。真空系統(tǒng)的漏氣速率leakthroughputofavacuumsystem由于漏氣滲入到真空系統(tǒng)中并影響真空容器中壓力的氣體流量。真空容器的升壓速率rateofpressureriseofavacuumchamber在溫度保持不變時(shí)，抽氣系統(tǒng)關(guān)閉后，在給定時(shí)間間隔內(nèi)容器的壓力升高量除以該時(shí)間隔之商。該商有可能不是恒定的。極限壓力ultimatepressure泵在工作時(shí)

5、，空載干燥的真空容器逐漸接近穩(wěn)定的最低壓力。殘余壓力residualpressure經(jīng)過(guò)一定時(shí)間的抽氣之后或真空過(guò)程結(jié)束之后還存在于真空容器中的氣體或氣體混合物（殘余氣體）的全壓。在某些情況下殘余壓力等于極限壓力。注：在真空技術(shù)中，“氣體”一詞按廣義的理解，即可適用于非冷凝性氣體也可應(yīng)用于蒸汽。殘余氣體譜residualgasspectrum真空容器中殘余氣體的質(zhì)譜?；A(chǔ)壓力basepressure在真空容器中可以開始實(shí)施工藝時(shí)的壓力。

6、注：在某些真空工藝中，例如表面的分析，基礎(chǔ)壓力也稱作為“本底★真空封接和真空引入線永久性真空封接permanentseal不能以簡(jiǎn)單的方式加以制造或拆卸的一種真空連接。例如：釬焊的真空連接，焊接的真空連接；玻璃玻璃封接；玻璃金屬封接。玻璃分級(jí)過(guò)渡封接gradedseal由具有不同熱膨脹系數(shù)的各種玻璃組成的一種永久性真空封接。因此避免了在各連接元件內(nèi)不希望有的大應(yīng)力（所謂麥桿式封接）。壓縮玻璃金屬封接compressionglasstom

7、etalseal將玻璃同金屬或合金熔接在一起，并使玻璃始終處于壓縮應(yīng)變之下的一種永久性真空連接。匹配式玻璃金屬封接matchedglasstometalseal通過(guò)將玻璃熔接到金屬或合金上所制得的密封，使金屬或合金在很大的溫度范圍內(nèi)其熱膨脹系數(shù)幾乎與玻璃相同的一種永久性真空連接。陶瓷金屬封接ceramictometalseal將陶瓷零件的金屬化表面與一個(gè)金屬零件釬焊在一起的一種永久性真空連接。半永久性真空封接semipermanents

8、eal用蠟、膠、漆或類似物質(zhì)接合的一種真空連接?？刹鹦兜恼婵辗饨觗emountablejoint用簡(jiǎn)單的方式，一般說(shuō)來(lái)用機(jī)械的方法可以拆卸又可以重新組裝起來(lái)的一種真空連接。液體真空封接liquidseal借助于低蒸汽壓液體進(jìn)行密封的一種可拆卸式真空連接。熔融金屬真空封接moltenmetalseal用低熔點(diǎn)金屬進(jìn)行密封的一種可拆卸式真空連接。加熱金屬使密封進(jìn)行拆卸或組合。研磨面搭接封接groundlappedseal由兩個(gè)經(jīng)研磨的表面構(gòu)

9、成的一種可拆卸式真空連接。研磨面可以是平面形狀、球形或錐狀，通常它們都涂以油脂。真空法蘭連接vacuumflangeconnection在兩個(gè)法蘭之間用一個(gè)適宜的可變形的密封件造成一個(gè)真空密封連接的一種可拆卸式真空連接。真空密封墊vacuumtightgasket放置于兩個(gè)零件之間的一個(gè)可拆卸的真空連接件，用其進(jìn)行密封的一種可變形的構(gòu)件。在某些場(chǎng)合借助于支承架（例如墊圈密封），材料的選擇要視所要求的真空范圍而定，通常用彈性體或金屬。真空

10、密封圈ringgasket一種環(huán)形真空密封件。注：有各種不同截面形狀的真空密封圈，例如：“O”形密封圈，“V”形密封圈，“L”形密封圈和其它型材的密封件（金屬型材密封件）。真空平密封墊flatgasket用扁平材料制得的一種真空密封件。真空引入線feedthroughleadthrough通過(guò)真空容器器壁使運(yùn)動(dòng)氣體或液體、電流或電壓傳遞或引入的一種裝置。這種裝置通常支承在真空容器對(duì)大氣密封的法蘭上。在真空中能用來(lái)做多種運(yùn)動(dòng)，一般說(shuō)來(lái)作平