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1、1、真空的定義真空系統(tǒng)指低于該地區(qū)大氣壓的稀簿氣體狀態(tài)2、真空度處于真空狀態(tài)下的氣體稀簿程度,通常用“真空度高”和“真空度低”來表示。真空度高表示真空度“好”的意思,真空度低表示真空度“差”的意思。3、真空度單位通常用托(Tr)為單位,近年國(guó)際上取用帕(Pa)作為單位。1托=1760大氣壓=1毫米汞柱4、托與帕的轉(zhuǎn)換1托=133.322帕或1帕=7.5103托5、平均自由程作無規(guī)則熱運(yùn)動(dòng)的氣體粒子,相繼兩次碰撞所飛越的平均距離,用符號(hào)“
2、λ”表示。6、流量單位時(shí)間流過任意截面的氣體量,符號(hào)用“Q”表示,單位為帕升秒(PaLs)或托升秒(TrLs)。7、流導(dǎo)表示真空管道通過氣體的能力。單位為升秒(Ls),在穩(wěn)定狀態(tài)下,管道流導(dǎo)等于管道流量除以管道兩端壓強(qiáng)差。符號(hào)記作“U”。U=Q(P2P1)8、壓力或壓強(qiáng)氣體分子作用于容器壁的單位面積上的力,用“P”表示。9、標(biāo)準(zhǔn)大氣壓壓強(qiáng)為每平方厘米101325達(dá)因的氣壓,符號(hào):(Atm)。10、極限真空真空容器經(jīng)充分抽氣后,穩(wěn)定在某一
3、真空度,此真空度稱為極限真空。通常真空容器須經(jīng)12小時(shí)煉氣,再經(jīng)12小時(shí)抽真空,最后一個(gè)小時(shí)每隔10分鐘測(cè)量一次,取其10次的平均值為極限真空值。11、抽氣速率在一定的壓強(qiáng)和溫度下,單位時(shí)間內(nèi)由泵進(jìn)氣口處抽走的氣體稱為抽氣速率,簡(jiǎn)稱抽速。即Sp=Q(P-P0)12、熱偶真空計(jì)利用熱電偶的電勢(shì)與加熱元件的溫度有關(guān),元件的溫度又與氣體的熱傳導(dǎo)有關(guān)的原理24、油擴(kuò)散真空泵擴(kuò)散泵噴口中噴出高速蒸汽流。在分子流條件下,氣體分子不斷地向蒸流中擴(kuò)散,
4、并被蒸汽帶向泵出口處逐級(jí)被壓縮后再由前級(jí)泵排除。25、低溫真空泵利用20K以下的低溫表面凝聚吸附氣體的真空泵。26、冷阱(水冷擋板)置于真空容器和泵之間,用于吸附氣體或捕集油蒸汽的裝置。27、氣鎮(zhèn)閥油封機(jī)械真空泵的壓縮室上開一小孔,并裝上調(diào)節(jié)閥,當(dāng)打開閥并調(diào)節(jié)入氣量,轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)到某一位置,空氣就通過此孔摻入壓縮室以降低壓縮比,從而使大部分蒸汽不致凝結(jié)而和摻入的氣體一起被排除泵外起此作用的閥門稱為氣鎮(zhèn)閥。28、真空冷凍干燥真空冷凍干燥,也稱升
5、華干燥。其原理是將材料冷凍,使其含有的水份變成冰塊,然后在真空下使冰升華而達(dá)到干燥目的。29、真空蒸鍍?cè)谡婵窄h(huán)境中,將材料加熱并鍍到基片上稱為真空蒸鍍,或叫真空鍍膜。30、真空干燥利用真空環(huán)境下沸點(diǎn)低的特點(diǎn)來干燥物品的方法。31、真空系統(tǒng)常用名稱(1)主泵:在真空系統(tǒng)中,用于獲得所需要真空度來滿足特定工藝要求的真空泵,如真空鍍膜機(jī)中的油擴(kuò)散泵就是主泵。(2)前級(jí)泵:用于維持某一真空泵前級(jí)壓強(qiáng)低于其臨界前級(jí)壓強(qiáng)的真空泵。如羅茨泵前配置的旋
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