真空知識

1、第1部分部分真空的初步知識真空的初步知識1.1基本概念1真空是指在給定空間內(nèi)低于一個(gè)大氣壓力的氣體狀態(tài)，也就是該空間的氣體分子密度低于該地區(qū)大氣壓的氣體分子密度。2測量單位：帕斯卡（Pa）1Pa就是1m2面積上作用1N的壓力。1大氣壓=1.03105Pa3真空度：表示真空狀態(tài)下氣體的稀薄程度。通常用壓力表示單位（Pa）4壓升率：單位時(shí)間內(nèi)，真空度降低的速率。單位：Pah5常用泵閥的符號表示①旋片泵：單級多級②羅茨泵：③擴(kuò)散泵：④擋板閥⑤

2、閥門（不指明類型）6真空泵的抽氣速率（簡稱抽速）（單位：LS）當(dāng)泵裝有標(biāo)準(zhǔn)試驗(yàn)罩并按規(guī)定條件工作時(shí)，從試驗(yàn)罩流過的氣體流量與在試驗(yàn)罩上指定位置測得的平衡壓力之比。7極限真空度：（單位：Pa）在規(guī)定條件工作，在不引入氣體正常工作的情況下，趨向平穩(wěn)的最低壓強(qiáng)。8真空泵的型號及規(guī)格表示法旋片泵表示名稱：X，雙級旋片泵表示名稱：2X，羅茨泵表示名稱：ZJ，P表示它的排氣口位置是旁開。（廠家的一種表示，不帶有普遍性。）以下兩種泵后面有的數(shù)字是它的

3、抽速。2X70，ZJ600擴(kuò)散泵的表示名稱：K，T表示凸腔泵，其后面的數(shù)字表示為它的進(jìn)氣口的幾何尺寸。KT600，KT4001.2設(shè)備的介紹1.2.130kg、100kg、120kg三種設(shè)備的介紹以100kg為例重點(diǎn)介紹：整套設(shè)備由控制系統(tǒng)（電控系統(tǒng)）、爐殼、加熱系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、水冷系統(tǒng)、充放氣系統(tǒng)、氣動(dòng)系統(tǒng)、風(fēng)冷換熱系統(tǒng)、進(jìn)出料系統(tǒng)等九個(gè)系統(tǒng)組成，以下分別介紹：1控制系統(tǒng)：由電控柜、各種測量儀表、熱電偶、加熱電源組成。2爐殼是由爐體、

4、爐門、爐腿、鎖緊裝置等幾部分組成。爐體：是由筒體及各個(gè)法蘭接管組成，爐體是雙層水冷夾套結(jié)構(gòu)，中間是冷卻循環(huán)水。爐體上帶有電極接口、真空系統(tǒng)接口、熱偶座接口、風(fēng)冷換熱接口、熱偶接口、充放氣接口、水冷接口等組成。爐門上帶有觀察窗，可以觀察工作情況。旋片泵（圖3）1—泵體；2—轉(zhuǎn)子；3—旋片；4—端蓋；5—彈簧①工作原理：2X70旋片泵是一種油封式機(jī)械真空泵。其工作壓強(qiáng)范圍為大氣到6.7102（Pa）屬于低真空泵。旋片泵分單級和雙級兩種。所謂

5、雙級，就是在結(jié)構(gòu)上將兩個(gè)單級泵串聯(lián)起來。以獲得較高的真空度。旋片泵主要由泵體、轉(zhuǎn)子、旋片、端蓋、彈簧等零件組成。在旋片泵的泵腔內(nèi)偏心地安一個(gè)轉(zhuǎn)子，轉(zhuǎn)子外圓與泵腔內(nèi)表面相切（二者有很小的間隙），轉(zhuǎn)子槽內(nèi)裝有帶彈簧的二個(gè)旋片。旋轉(zhuǎn)時(shí)，靠離心力和彈簧的張力使旋片頂端與泵腔的內(nèi)壁保持接觸，轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)帶動(dòng)旋片沿泵腔內(nèi)壁滑動(dòng)。兩個(gè)旋片把轉(zhuǎn)子、泵腔和兩個(gè)端蓋所圍成的月牙形空間分隔成A、B、C三部分，見圖3。當(dāng)轉(zhuǎn)子按箭頭方向旋轉(zhuǎn)時(shí)，與吸氣口相通的空間A的

6、容積是逐漸增大的（壓力降低），正處于吸氣過程。而與排氣口相通的空間C的容積是逐漸縮小的（壓力升高），正處于排氣過程。居中的空間B的容積也是逐漸減小的（壓力升高），正處于壓縮過程。由于空間A的容積逐漸增大（即膨脹），氣體壓強(qiáng)降低，泵的入口處外部氣體壓強(qiáng)大于空間A內(nèi)的壓強(qiáng)，因此將氣體吸入。當(dāng)空間A與吸氣口隔絕時(shí)，即轉(zhuǎn)至空間B的位置，氣體開始被壓縮，容積逐漸縮小，最后與排氣口相通。當(dāng)被壓縮氣體超過排氣壓強(qiáng)時(shí)，排氣閥被壓縮氣體推開，氣體穿過油箱