faq真空

1、FAQ1問:油封機(jī)械真空泵所配置的電機(jī)與泵的抽速大小有沒有關(guān)系？答:當(dāng)然有關(guān)系，抽速大的泵必然要求配備功率較大的電機(jī)。為了便于你在實際裝配過程中不致于裝錯，我們把油封機(jī)械真空泵的抽速一一列出，括號內(nèi)的數(shù)字是最低所必需的電機(jī)額定輸出功率。20Lmin(0.1kW)50Lmin(0.2kW)150Lmin(0.4kW)300Lmin(0.75kW)500Lmin(0.75kW)800Lmin(1.5kW)1500Lmin(2.2kW)250

2、0Lmin(3.7kW)3700Lmin(5.5kW)5500Lmin(7.5kW)7500Lmin(11kW)10000Lmin(15kW)15000Lmin(22kW).問:在使用油封機(jī)械真空泵時，為什么有時會出現(xiàn)電機(jī)轉(zhuǎn)動而泵卻不轉(zhuǎn)的現(xiàn)象？答:油封機(jī)械真空泵在正常情況下運轉(zhuǎn)一般是不會出現(xiàn)這個問題的。只是在起動時有時候會產(chǎn)生停轉(zhuǎn)故障。在我國北方，冬季比較寒冷，有時就會出現(xiàn)你所問的這個問題。出現(xiàn)這個情況時應(yīng)當(dāng)先切斷電源，以防止皮帶燒毀的

3、危險。解決這個問題的方法有兩個：第一個方法是加強(qiáng)保暖措施，以防止泵油凍凝。在換油時也會發(fā)生停泵故障，因為所換的油的粘度太低，這時必須按照泵的使用說明書的要求，換上粘度合格的油。另一種情況則是在剛安裝時發(fā)生的，即安裝的電機(jī)功率與泵不匹配。這時就應(yīng)當(dāng)及時更換合適的電機(jī)。如果電機(jī)功率是匹配的，泵油也未變質(zhì)，那么就應(yīng)當(dāng)檢查皮帶是否松動。皮帶長期使用時有時容易打滑，大部分電機(jī)都有調(diào)解螺栓，可以進(jìn)行調(diào)節(jié)。如果也不是皮帶的問題，那么還有一個很切合實際

4、的方法。那就是泵在啟動時打開安裝在吸氣口側(cè)的放氣閥，泵運轉(zhuǎn)后再關(guān)上這個放氣閥。如果這些方法都不靈，那么就要檢查泵的轉(zhuǎn)動部件本身是否出現(xiàn)問題了。問:在等離子體化學(xué)氣相沉積工藝中采用等離子體有哪些潛在的化學(xué)危害性？答：在反應(yīng)式等離子體化學(xué)氣相沉積工藝中，等離子體與真空鍍膜設(shè)備中的殘余氣體分子化學(xué)反應(yīng)會產(chǎn)生一些有害的生成物。在物理氣相沉積工藝中有時也有類似的情況發(fā)生。許多泵的維修人員在維修前總會了解該設(shè)備用來抽過什么氣體。氮等離子體含有水蒸氣

5、時，會形成少量的NH3。等離子體刻蝕工藝中若有水蒸氣出現(xiàn)，在抽除CCl4時會形成有毒的光氣（COCl2）。曾經(jīng)有人認(rèn)為在沉積碳氮化合物膜時，氮烴等離子體中有劇毒的氰化物形成。但在國內(nèi)外的文獻(xiàn)中，至今尚未見到有這方面的報告。問:通過什么渠道能夠較快了解到國外超聲清洗的最新信息？答：液晶玻璃鍍膜、光學(xué)鍍膜、鈦金鍍膜等行業(yè)在鍍膜前都必須對基片進(jìn)行超聲清洗。欲要了解包括超聲清洗在內(nèi)的潔凈清洗技術(shù)的最新信息，可以訂閱美國的《PrecisionCl

6、eaning》雜志。由于該雜志可以免費索取，給國內(nèi)讀者了解相關(guān)技術(shù)的發(fā)展情況提供了方低泵的真空度。問:真空系統(tǒng)達(dá)不到預(yù)期的真空度的原因是什么？答：這個情況比較復(fù)雜，原因是多種多樣的。一個真空系統(tǒng)，經(jīng)過一段長時間的抽氣之后，如果仍然達(dá)不到預(yù)期的真空度，可能有以下幾種原因：1)抽氣情況不良，即抽氣系統(tǒng)本身存在問題。例如：真空泵的零件磨損嚴(yán)重、泵油老化變質(zhì)、泵漏氣、擴(kuò)散泵工作不正常，泵油量過多或過少，泵油氧化……等，因而不能正常抽氣。2)出氣

7、，真空系統(tǒng)或容器的內(nèi)部存在氣源。內(nèi)表面清潔不良會吸附有大量的氣體，所用材料選擇不當(dāng)而含氣量又很大。這些原因均會造成在抽氣過程中不斷有氣體放出，使真空系統(tǒng)難以達(dá)到理想的真空度。3)漏氣，指大氣通過漏孔或間隙進(jìn)入真空系統(tǒng)，而使設(shè)備達(dá)不到所要求的真空度。上述三種原因中任何一種起主導(dǎo)作用時，真空的獲得和維持就很困難了。因此，首先要判斷起主導(dǎo)作用的是哪一種因素，然后針對不同的原因加以處理。一般可用靜態(tài)升壓法加以判斷。即把容器抽到一定壓力，關(guān)閉閥門

8、，把容器與泵隔開，然后用真空測量儀器測量容器內(nèi)的壓力隨時間的變化。如果壓力不隨時間變化，說明容器不出氣也不漏氣。真空抽不上去的原因是真空泵工作不良造成的。如果壓力隨著時間開始上升較快而后上升的逐漸減慢并趨于平衡，說明真空抽不上去的原因是出氣造成的。如果壓力隨時間而不斷增加，說明有漏孔存在。問:真空測量時，為什到會出現(xiàn)壓力跳動現(xiàn)象？答：這是最難分辨的現(xiàn)象，在真空系統(tǒng)抽氣的過程中，由于操作失誤，突發(fā)性的停水停電，系統(tǒng)漏氣等情況都會出現(xiàn)壓力大

9、幅度上升，真空度抽不上去的情況。前兩種情況還比較容易處理，后一情況則需要用各種檢漏的方法尋找漏氣的地點和產(chǎn)生漏氣的原因。有一種情況則應(yīng)將漏氣排除在外。那就是當(dāng)壓力值隨時間開始上升較快，而后上升逐漸減慢并趨于平緩，這說明真空抽不上去的原因是內(nèi)部材料出氣造成的。若壓力持續(xù)升高，說明有漏孔存在。問:真空測量時，為什么測出的壓力值會出現(xiàn)緩慢飄移的現(xiàn)象？答：在真空測量中，這個現(xiàn)象叫做壓力飄移。表示壓力的變化緩慢，升降到某一個壓力范圍沒有規(guī)律可循。

10、如果真空容器氫的含量高，又用擴(kuò)散泵抽除時就會出現(xiàn)這種情況。另外，規(guī)管出現(xiàn)故障，電壓不穩(wěn)定，壓力傳感器不清潔也會出現(xiàn)壓力飄移的現(xiàn)象。壓力飄移現(xiàn)象不是一個較難的問題，操作者在一般情況下可以自行找出原因所在。問:真空測量時，為什么測出的壓力值會出現(xiàn)周期性的升、降現(xiàn)象？答：在真空測量中，這個現(xiàn)象叫做壓力循環(huán)。它表明真空容器中的壓力在若干分鐘或若干小時內(nèi)在某一上下限之內(nèi)呈現(xiàn)有規(guī)律的升降。在大多數(shù)情況下，是由于真空容器材料出氣所造成的。在真空獲得的