單晶作業(yè)指導(dǎo)書

1、一、取單晶準(zhǔn)備1、準(zhǔn)備好線手套、耐高溫手套、無塵紙；2、準(zhǔn)備好鋼絲鉗、取單晶的小車；3、用沾酒精的無塵紙將爐體從上到下擦拭干凈，并保持整潔；二、拆爐取單晶1、待單晶冷卻4小時(shí)后，關(guān)閉Ar氣，然后提升單晶至副室，從副室觀察窗確認(rèn)單晶升至所需高度；2、待爐內(nèi)壓力到達(dá)極限真空后，先關(guān)閉主泵球閥后關(guān)閉真空泵電源，然后進(jìn)行檢漏；3、若無異常，擰開小副室門四個(gè)螺栓，打開副室氬氣閥門，查看副室壓力表指針到0位和副室小門可以被打開時(shí)，才可以升晶棒到副室

2、腔內(nèi)并高于副室門，蓋上隔離閥，打開液壓泵電源，升起副室；4、把取單晶的小車放在副室爐筒正下方，準(zhǔn)備接單晶；5、穩(wěn)定單晶，移開安全接盤，按下晶快降，將單晶降入取晶小車內(nèi)；6、確認(rèn)單晶完全放入小車內(nèi)后，戴上手套，抓緊重錘，用鋼絲鉗將籽晶從細(xì)徑處剪斷，然后穩(wěn)定重錘，將籽晶從重錘上取下，再將重錘升至副室內(nèi)；三、導(dǎo)流筒.保溫蓋.鍋底料的取出1、準(zhǔn)備好不銹鋼小車和取導(dǎo)流筒掛鉤（堝桿扳手）；2、戴好手套及耐高溫手套；3、按順序取出導(dǎo)流筒和保溫蓋；4、

3、取出的石墨件要放在不銹鋼臺(tái)車上；1、戴好耐高溫手套和準(zhǔn)備好鉗子；2、用鉗子夾住石英堝的上端部分提起，使其松動(dòng)；3、戴好耐高溫手套將石英坩堝取出，若石英坩堝和堝底料能全部帶出直接放入不銹鋼小車上；若不能則將石英坩堝硅料放到車間指定的區(qū)域，剩下的堝底料隨三瓣堝一并取出，若出現(xiàn)整爐報(bào)廢等意外情況則，用耐高溫手套直接將石英堝體和硅料一并取出；四、清理大罐1、準(zhǔn)備好毛刷、吸管、專用工具；2、帶好手套、防塵口罩；1、用專用工具大罐蓋螺栓，取出罐蓋和

4、過濾網(wǎng)；2、用毛刷和吸塵器仔細(xì)清掃過濾網(wǎng)及大罐內(nèi)的氧化物；3、將清掃后的過濾網(wǎng)緩慢放進(jìn)大罐；4、用刷子和吸塵器清掃罐蓋；5、用沾酒精的紙擦拭罐蓋和密封部件；6、蓋好大罐蓋并用專用工具擰緊螺栓；五、管道爐蓋的清理1、帶口罩、手套；2、準(zhǔn)備好防塵口罩、無塵紙、酒精、清掃用的氬氣、研磨布、毛刷、吸塵器管等清掃所需物品；打開液壓泵電源，按爐蓋降按鈕下爐蓋副室的清掃1、準(zhǔn)備好清掃棒、無塵紙、酒精、氬氣；2、在清掃棒上纏上沾有酒精的無塵紙，清掃副室

5、內(nèi)部至上部；3、用清掃棒吹掃副室內(nèi)部至上部，直至確認(rèn)無污物；4、用沾有酒精的無塵紙認(rèn)真擦拭重錘及鉬夾頭，最后用氬氣認(rèn)真吹凈；5、按晶快升升起重錘至適當(dāng)位置，用沾有酒精的無塵紙擦拭副室下部的接合部和爐蓋上部的接合部，轉(zhuǎn)動(dòng)副室，降下與爐蓋合爐；安裝籽晶1、用沾有酒精的無塵紙認(rèn)真擦拭籽晶，并用氬氣吹凈；2、把籽晶裝在夾頭上，裝好鉬銷；3、用力向下拽一下籽晶使其牢固，穩(wěn)定好籽晶后，按晶快升使其上至適當(dāng)位置，關(guān)閉副室小門，開始抽空；抽空1.打開真

6、空泵電源；2.緩慢打開球閥；3.抽空后爐內(nèi)力達(dá)＜20Pa時(shí)，進(jìn)行反復(fù)充氬氣，使?fàn)t內(nèi)壓力＜10Pa；4.關(guān)閉真空球閥，進(jìn)行冷檢漏3分鐘，看漏率是否小于1Pa；加熱化料1、抽空完成后，漏率達(dá)到要求后，打開真空球閥，打開氬氣閥門，設(shè)定流量為20升分，使?fàn)t內(nèi)壓力達(dá)到1000Pa左右；2、確認(rèn)單晶爐進(jìn)水、出水開關(guān)打開，并檢查各進(jìn)水分支開關(guān)已打開；3、打開加熱電源開關(guān)；4、根據(jù)通過歐陸手動(dòng)狀態(tài)的OP功能每半小時(shí)，分步增加功率；(10、30、70、9

7、0KW)引晶溫度調(diào)試1、溫度切入自動(dòng)后，按晶快降，將籽晶降至從主觀察窗能看到的位置；2、20分鐘后，按晶快降按鈕將籽晶降至距液面20mm處預(yù)熱20分鐘；3、降籽晶使之與液面接觸，晶轉(zhuǎn)設(shè)定為8轉(zhuǎn)分，熔接10分鐘，根據(jù)接觸光圈的形狀（光圈圓合適，方不合適溫度低），確定引頸溫度是否合適，若合適開始引頸，若不合適，通過歐陸調(diào)整溫度20分鐘后開始引頸，溫度不宜偏低；引晶1、打開晶升電源，計(jì)長(zhǎng)清零；給定堝轉(zhuǎn)至7轉(zhuǎn)分.；2、緩慢提升拉速至1.5mmm