切片異常匯總

1、,,,,1.斷線(xiàn)2.線(xiàn)痕3.厚薄片4.隱裂,5.缺角6.崩邊7.彎曲片8.掉棒,9.掉片10·過(guò)濾袋堵塞11.如何避免斷線(xiàn)和斷線(xiàn)的解決辦法12·鋼線(xiàn)張力,目錄,斷線(xiàn),收線(xiàn)輪斷線(xiàn),放線(xiàn)輪斷線(xiàn),切割快結(jié)束后斷線(xiàn),①放線(xiàn)輪斷線(xiàn)：1.最常見(jiàn)的是鋼線(xiàn)質(zhì)量問(wèn)題造成斷線(xiàn);2.其次張力異常造成斷線(xiàn);3.垂直度不垂直造成斷線(xiàn);4、滑輪質(zhì)量問(wèn)題造成斷線(xiàn)’滑輪沒(méi)有及時(shí)更換造成斷線(xiàn);5、導(dǎo)論驅(qū)動(dòng)異常造成斷線(xiàn)。其

2、次放線(xiàn)輪壓線(xiàn)斷線(xiàn)分為假壓線(xiàn)和真壓線(xiàn)兩種：在這兩種情況下真壓線(xiàn)的斷線(xiàn)率比假壓線(xiàn)的高。其主要原因是在鋼線(xiàn)本身，還有一種可能是斷線(xiàn)后采用反切方法排線(xiàn)不正確也會(huì)產(chǎn)生。,②收線(xiàn)輪斷線(xiàn)： 其一排線(xiàn)的問(wèn)題。在切割過(guò)程中收線(xiàn)輪處的排線(xiàn)輪由于行程有細(xì)微的過(guò)大，而切割后的鋼線(xiàn)本身在切割過(guò)程中有了比較均勻的磨損；由于排線(xiàn)輪的行程大了一點(diǎn)，線(xiàn)和收線(xiàn)輪的飛邊相摩擦產(chǎn)生一個(gè)切向力（廢鋼線(xiàn)也有一定的張力）。被收線(xiàn)輪的飛邊給切斷的。如果在微觀發(fā)方面看

3、的話(huà)，是由于排線(xiàn)行程過(guò)大的那一剎那 其二收線(xiàn)輪的原因。在排線(xiàn)正常的情況下由于收線(xiàn)輪的飛邊上有金屬毛刺。在收線(xiàn)輪高速旋轉(zhuǎn)的情況下，在飛邊上的毛刺產(chǎn)生切向力很大足以截?cái)嘁桓?.140和0.120的鋼線(xiàn)。 其三收線(xiàn)輪處的張力臂張力不平穩(wěn)。在一切情況都排除在外時(shí)收線(xiàn)輪處的斷線(xiàn)最有可能是由于收線(xiàn)輪處的張力臂張力不平穩(wěn)引起的，忽高忽低的張力給廢鋼線(xiàn)施加了一個(gè)變量的力。在金屬力學(xué)中這是一大忌，鋼線(xiàn)就是這樣被疲勞拉斷

4、了。 其四滑輪質(zhì)量問(wèn)題或滑輪沒(méi)有及時(shí)更換造成斷線(xiàn)。,③線(xiàn)網(wǎng)斷線(xiàn)： 1.導(dǎo)論沒(méi)有處理干凈，在高速切割中鋼線(xiàn)因雜質(zhì)而脫離導(dǎo)輪槽，導(dǎo)致鋼線(xiàn)飛線(xiàn)（跳線(xiàn)），隨著高速運(yùn)轉(zhuǎn)的鋼線(xiàn)，跳線(xiàn)處與晶棒摩擦要比正常切割線(xiàn)網(wǎng)區(qū)域摩擦更嚴(yán)重，隨著切割時(shí)間延長(zhǎng)，砂漿的切割力也慢慢下降，跳線(xiàn)位置可能會(huì)斷線(xiàn); 2.晶棒兩端斜面過(guò)大在切割中切到斜面邊緣處鋼線(xiàn)容易打滑，鋼線(xiàn)脫離線(xiàn)槽，會(huì)把端面位置碎片帶進(jìn)線(xiàn)網(wǎng)，造成斷線(xiàn);

5、 3.晶棒本身有雜質(zhì)硬點(diǎn)，造成斷線(xiàn);導(dǎo)輪槽磨損，切割中鋼線(xiàn)會(huì)錯(cuò)位，會(huì)引起硅片斷裂，硅渣進(jìn)入線(xiàn)網(wǎng)造成斷線(xiàn); 4. 鋼線(xiàn)質(zhì)量問(wèn)題，切割中會(huì)造成線(xiàn)網(wǎng)斷線(xiàn); 5.砂漿密度過(guò)高，切割力達(dá)不到，造成沒(méi)有規(guī)律性的線(xiàn)網(wǎng)斷線(xiàn); 6.砂漿簾賭賽，砂漿斷流，鋼線(xiàn)和晶棒干磨，造成線(xiàn)網(wǎng)斷線(xiàn);導(dǎo)輪驅(qū)動(dòng)異常，可能會(huì)引起線(xiàn)網(wǎng)斷線(xiàn); 7.導(dǎo)向條下面有空隙，切割入刀口時(shí)碎導(dǎo)向條會(huì)與鋼線(xiàn)的切割方向，把硬物帶進(jìn)

6、線(xiàn)網(wǎng)，造成斷線(xiàn)。,④切割快結(jié)束后斷線(xiàn)： 其一線(xiàn)速也是斷線(xiàn)的一種因素之一，在線(xiàn)速迅速降低也是致命的。這時(shí)候鋼線(xiàn)由于慣性還的在向前運(yùn)動(dòng)，可是導(dǎo)輪已經(jīng)按照降速后運(yùn)轉(zhuǎn)，同時(shí)晶棒還是在下降。這時(shí)鋼線(xiàn)會(huì)在晶體中形成褶皺，在鋼線(xiàn)上產(chǎn)生應(yīng)力點(diǎn)；也就給斷線(xiàn)埋下了隱患。這種斷線(xiàn)對(duì)處發(fā)生在將要結(jié)束的時(shí)候。 其二晶棒粘接對(duì)接處膠抹的太多，快要切完時(shí)的線(xiàn)網(wǎng)直接與對(duì)接處的膠接觸，膠

7、多過(guò)線(xiàn)網(wǎng)會(huì)直接將其帶進(jìn)線(xiàn)網(wǎng)導(dǎo)致斷線(xiàn)。,8,,出刀口線(xiàn)痕,表面均勻線(xiàn)痕,硬點(diǎn)線(xiàn)痕,倒角處的線(xiàn),進(jìn)刀口,厚薄片表面有一條線(xiàn)痕,入刀口線(xiàn)痕,中部線(xiàn)痕,出線(xiàn)位置硅棒的線(xiàn)痕,①表面均勻線(xiàn)痕：砂漿更換量不足，鋼線(xiàn)帶砂量太少，造成沒(méi)有足夠的切割能力，嚴(yán)重摩擦導(dǎo)致均勻線(xiàn)痕，冷卻水溫度過(guò)高，導(dǎo)致均勻線(xiàn)痕; ②厚薄片表面有一條線(xiàn)痕：切割中有雜質(zhì)進(jìn)入線(xiàn)網(wǎng)，線(xiàn)網(wǎng)瞬間跳線(xiàn)，鋼線(xiàn)脫離線(xiàn)槽，造成切割定位，導(dǎo)致厚薄片，在線(xiàn)網(wǎng)瞬間跳線(xiàn)時(shí)，鋼

8、線(xiàn)在交叉時(shí)，與晶棒摩擦造成一道線(xiàn)痕;導(dǎo)輪表面磨損，鋼線(xiàn)會(huì)擠在一起，砂漿分布不均勻，造成線(xiàn)痕; ③入刀口線(xiàn)痕：切割入刀口時(shí)，導(dǎo)向條有空隙，硬物進(jìn)入線(xiàn)網(wǎng)，鋼線(xiàn)跳線(xiàn)瞬間會(huì)引起線(xiàn)痕;,④出刀口均勻線(xiàn)痕：砂漿少更換10~20L，切割快結(jié)束后，砂漿的顆?；旧弦呀?jīng)很疲憊了，棱角幾乎已經(jīng)變圓，切割力已經(jīng)到了疲憊狀態(tài)，隨著鋼線(xiàn)不斷的磨損，切割力達(dá)不到，就會(huì)造成出刀口線(xiàn)痕; ⑤中部線(xiàn)痕:切割中，砂漿嘴斷流，造成硅片中

9、部線(xiàn)痕; ⑥硬點(diǎn)線(xiàn)痕：硅片來(lái)料硬點(diǎn)，切割中小硬點(diǎn)可能不會(huì)造成線(xiàn)網(wǎng)斷線(xiàn)，但鋼線(xiàn)切到硬點(diǎn)時(shí)，不會(huì)與其他位置切割力一樣，難免會(huì)在硬點(diǎn)處停留數(shù)秒，這期間會(huì)造成一道線(xiàn)痕;,⑦進(jìn)刀口：由于剛開(kāi)始切割，鋼線(xiàn)處在不穩(wěn)定狀態(tài)，鋼線(xiàn)的波動(dòng)產(chǎn)生的線(xiàn)痕; ⑧倒角處的線(xiàn)痕：由于在粘結(jié)硅棒時(shí)底部殘留有膠，到倒角處鋼線(xiàn)帶膠切割引起的線(xiàn)痕; ⑨出線(xiàn)位置硅棒的線(xiàn)痕：鋼線(xiàn)磨損量大，造成鋼線(xiàn)光潔度、圓度不夠，攜帶砂漿數(shù)量低，

10、切削能力下降，線(xiàn)膨脹系數(shù)增大引起的。,厚薄片,整片超厚,中部以上超厚,厚薄不均,①整片超厚：導(dǎo)向條有空隙，入刀口時(shí)，隨著鋼線(xiàn)切割方向，會(huì)把碎導(dǎo)向條直接帶入線(xiàn)網(wǎng)，鋼線(xiàn)錯(cuò)位，切割中鋼線(xiàn)會(huì)瞬間定位一直到切割結(jié)束，這樣就出現(xiàn)硅片整體超厚現(xiàn)象;導(dǎo)輪磨損嚴(yán)重，切割中鋼線(xiàn)會(huì)互相擁擠，造成厚薄片;,整片超厚,②中部以上超厚：切割室雜質(zhì)掉進(jìn)線(xiàn)網(wǎng)，引起線(xiàn)網(wǎng)跳線(xiàn)，造成厚薄片;導(dǎo)輪質(zhì)量發(fā)生變化，導(dǎo)輪槽磨損，線(xiàn)網(wǎng)跳線(xiàn)，引起厚薄片;,,中部以上超厚,,,③厚

11、薄不均（TTV）:張力異常，造成厚薄不均現(xiàn)象;流量時(shí)流時(shí)斷，造成切割力不均勻，造成厚薄片。,厚薄不均,隱裂,,,,,,,,,來(lái)料隱裂,預(yù)清洗后隱裂,插片隱裂,清洗后隱裂,拉運(yùn)中隱裂,分選過(guò)程隱裂,①來(lái)料隱裂：多晶硅鑄錠爐生產(chǎn)時(shí)，可能加工的硅料成分造成，其次在拉運(yùn)途中，震動(dòng)或撞擊導(dǎo)致晶體隱裂; ②預(yù)清洗后隱裂：車(chē)間流程加工時(shí)，崗位在加工和拉運(yùn)時(shí)碰撞造成，其次切片崗位在安裝棒時(shí)，用力過(guò)猛，引起晶托相撞，導(dǎo)致晶棒體內(nèi)產(chǎn)生隱裂

12、，在預(yù)清洗時(shí)，因晶棒本來(lái)在前道崗位已經(jīng)受撞擊，經(jīng)過(guò)預(yù)清洗水壓，隱裂就可以體現(xiàn)出來(lái); ③插片隱裂:插片時(shí)，作業(yè)人員的手法都不一致，況且每刀四個(gè)位置的厚度都有所差異，手拿片子角上最邊緣，平衡力有誤就會(huì)導(dǎo)致隱裂;,④清洗后隱裂:清洗機(jī)烘干槽里風(fēng)過(guò)大，風(fēng)向不定，會(huì)造成硅片在清洗籃里晃動(dòng)過(guò)大導(dǎo)致隱裂; ⑤拉運(yùn)中隱裂：清洗后，將硅片車(chē)?yán)\(yùn)到分選途中，地面不平，車(chē)子震動(dòng)，硅片會(huì)產(chǎn)生隱裂; ⑥分選過(guò)程

13、隱裂：人工分選時(shí)，手法不一致，從片盒倒出時(shí)，片子有時(shí)會(huì)卡到盒中，造成隱裂（碎片）;人工分選可能會(huì)擠壓到一些片子，其次還有分選臺(tái)桌面上的碎硅渣，倒片時(shí)，會(huì)造成硅片崩邊，很容易產(chǎn)生隱裂。,19,缺角原因分析,①加工時(shí)缺角：晶棒在加工和拉運(yùn)時(shí)，人員疏忽，沒(méi)有按照作業(yè)指導(dǎo)書(shū)規(guī)定操作，造成缺角;設(shè)備異常造成的缺角。 ②切割時(shí)缺角:晶棒上導(dǎo)向條沒(méi)有粘接到位，切割中，沒(méi)有導(dǎo)向條的位置鋼線(xiàn)容易打滑，隨著工作臺(tái)下降，線(xiàn)速加快，鋼線(xiàn)和晶棒定位

14、的瞬間，會(huì)造成硅片角上缺角。 ③運(yùn)輸中缺角:在切片崗位下棒時(shí)，作業(yè)員需要用拉鉤把晶棒拉到下棒軌道里，稍微不注意拉鉤就會(huì)碰到片子，造成缺角; ④插片時(shí)缺角:插片人員在作業(yè)時(shí)，插片的速度過(guò)快，硅片的角會(huì)撞到插片工作臺(tái)上，造成缺角。 ⑤分選時(shí)缺角:人工在倒片盒時(shí)，因工作臺(tái)上有碎硅渣，片子會(huì)與碎硅渣產(chǎn)生碰撞力，造成缺角。,崩邊種類(lèi),崩邊,①C角崩邊：粘棒在作業(yè)時(shí)，由于用較硬的東西取C角膠時(shí)，造成C較

15、崩邊; ②膠面崩邊：切片沒(méi)有切透，晶棒在預(yù)清洗脫膠后造成膠面崩邊（有時(shí)候看上去切透，其實(shí)晶棒中部因線(xiàn)弓還沒(méi)有完全切透）;加工時(shí)崩邊：設(shè)備在加工時(shí)造成崩邊,人員在搬運(yùn)中相撞造成崩邊。,崩邊原因分析,①晶托螺絲沒(méi)有擰緊，或者是假擰緊，在切割中，晶棒受鋼線(xiàn)的切割力導(dǎo)致晶托松動(dòng)，切割結(jié)束后全部是彎曲片; ②切割中導(dǎo)輪定位銷(xiāo)斷裂，或者是導(dǎo)輪密封圈脫落掉，在切割中會(huì)突然晃動(dòng)，導(dǎo)致彎曲片; ③晶體本身

16、內(nèi)有雜質(zhì)或硬點(diǎn)，切割中不至于斷線(xiàn)，鋼線(xiàn)在勻速切割時(shí)，遇到雜質(zhì)和硬點(diǎn)會(huì)彎曲切過(guò)，這樣就會(huì)造成少量片彎曲。,彎曲片原因分析,,①膠水配比有問(wèn)題；②硅棒與玻璃粘接面有油污；③膠水涂抹后固化的時(shí)間沒(méi)有到可用時(shí)間；④膠水的質(zhì)量有問(wèn)題;⑤在擰螺絲時(shí)，擰力過(guò)大，造成鋁板變形（凹凸不平），導(dǎo)致掉棒。備注：粘棒室溫度為22℃-28 ℃，濕度為50%以下●配膠比例：A膠樹(shù)脂：B膠固化劑=1：1●玻璃板加壓、固化時(shí)間：加壓15-25分鐘，固化

17、30分鐘以上（包含加壓時(shí)間）●晶棒、玻璃板清洗：超聲清洗，水溫40-50攝氏度，清洗時(shí)間10-15,掉棒原因分析,①砂漿的水份偏高造成的團(tuán)結(jié)物。②剛使用時(shí)過(guò)濾袋堵塞可能是砂漿有異物造成的，如果是切割到3刀以后的堵塞可能是硅片碎雜質(zhì)多引起的。③碳化硅微粉和切削液的PH值區(qū)別太大，起化學(xué)反應(yīng)引起的黏稠物，造成的過(guò)濾袋堵塞。④沒(méi)有按照規(guī)定時(shí)間更換，造成切割中過(guò)濾袋堵塞。備注：過(guò)濾袋壓力設(shè)定為1200bar,開(kāi)切范圍在800以下更為合

18、適。,過(guò)濾袋堵塞原因分析,掉片,,,,,,,,,切割完后掉片,升棒過(guò)程中掉片,升完后掉片,從設(shè)備三點(diǎn)一線(xiàn)拉時(shí)掉片,整根棒掉片,預(yù)清洗前掉片,①切割完后掉片：切割深度過(guò)深導(dǎo)致掉片，因?yàn)樽鳂I(yè)員在設(shè)零點(diǎn)時(shí)，F(xiàn)位置和M位置的高度有時(shí)高度不一致，如果按晶棒最低的一點(diǎn)設(shè)零點(diǎn)，那么切割到-165.5mm時(shí)，晶棒低的位置因切割深度過(guò)深造成掉片; ②升棒過(guò)程中掉片：作業(yè)員升棒速度太快（200mm /MIN），片子被線(xiàn)網(wǎng)強(qiáng)制拉來(lái);

19、 ③升完后掉片：粘棒抹膠不均勻，切割深度一致時(shí)，膠薄的區(qū)域會(huì)少量掉片;,掉片原因分析,④從設(shè)備三點(diǎn)一線(xiàn)拉時(shí)掉片：使用拉鉤拉時(shí)，用力過(guò)猛，片子擺動(dòng)幅度過(guò)大，太松動(dòng)造成掉片; ⑤整根棒掉片：其一粘膠面膠抹的太少，其二膠水的質(zhì)量有問(wèn)題，其三膠水涂抹后固化的時(shí)間沒(méi)有到可用時(shí)間; ⑥預(yù)清洗前掉片：晶棒等待時(shí)間太長(zhǎng)，片子相比是一個(gè)拉力往下拉，時(shí)間過(guò)長(zhǎng)，玻璃板不能承受導(dǎo)致掉片。,備注：粘棒室溫度為22℃-28

20、℃，濕度為50%以下●配膠比例：A膠樹(shù)脂：B膠固化劑=1：1●玻璃板加壓、固化時(shí)間：加壓15-25分鐘，固化30分鐘以上（包含加壓時(shí)間）●晶棒、玻璃板清洗：超聲清洗，水溫40-50攝氏度，清洗時(shí)間10-15,①在開(kāi)機(jī)前檢查時(shí)要按照開(kāi)機(jī)檢查表上的檢查項(xiàng)一一檢查到位，我發(fā)現(xiàn)好多操作工就沒(méi)有按照開(kāi)機(jī)檢查表來(lái)檢查，比如張力是否有異常、還有兩邊的排線(xiàn)是否垂直、下過(guò)濾網(wǎng)和上過(guò)濾網(wǎng)和有砂漿噴嘴是不是每刀都清洗等等，其次在清洗砂漿嘴時(shí)有沒(méi)有把砂

21、漿噴嘴的兩端拆先來(lái)清洗里面的，因?yàn)樯皾{嘴里面還有一條鐵片，在清洗時(shí)光清洗外面的話(huà)，可能很難把里面的雜質(zhì)清理掉的，這樣就很可能在切割中導(dǎo)致砂漿斷流供應(yīng)不上斷線(xiàn)。 ②現(xiàn)規(guī)定張力要在-1—2N之間才是正常的，如張力不正常，在切割很容易造成TTV、厚薄片等情況，還可能會(huì)斷線(xiàn)。,如何避免斷線(xiàn)和斷線(xiàn)的解決辦法,③晶棒斜面太大也會(huì)造成線(xiàn)網(wǎng)斷線(xiàn)，現(xiàn)在不是規(guī)定大于2MM的斜面粘到M2位置，其實(shí)這只是防止斷線(xiàn)的損失，我們還可以把斜面大的放

22、到M2位置，線(xiàn)網(wǎng)可以避開(kāi)斜面切割，這樣就更加安全了，最起碼不會(huì)在收線(xiàn)端斷線(xiàn)，也不會(huì)因停機(jī)帶來(lái)的損失。 ④砂漿袋的壓力是否正常，因?yàn)樵谇懈钪腥绻皾{袋壓力過(guò)高那說(shuō)明砂漿袋里面堵塞了，或是砂漿管道里沒(méi)有處理干凈，這樣的情況會(huì)造成在切割中沒(méi)有規(guī)律性的斷線(xiàn)，也就是哪個(gè)位置都很可能會(huì)導(dǎo)致斷線(xiàn)，其次還會(huì)造成TTV超厚超薄等現(xiàn)象。,⑤砂漿密度的控制，在切割中密度是很重要的一個(gè)環(huán)節(jié)，如切割能力達(dá)不到，那百分之百會(huì)斷線(xiàn)，比如片子上有線(xiàn)痕、TTV

23、、厚薄片，都和密度有直接關(guān)系，當(dāng)然這只是一部分，好多異常還有其他原因，那就要觀察片子上線(xiàn)痕、TTV、厚薄片在切割的安裝位置，出刀口還是進(jìn)刀口。 ⑥導(dǎo)輪的使用時(shí)間和表面有無(wú)勒痕也是很重要的，導(dǎo)輪勒痕會(huì)造成斷線(xiàn)，還有線(xiàn)痕、TTV、厚薄片，或許還會(huì)有彎區(qū)片等情況。,1.鋼線(xiàn)的張力：鋼線(xiàn)的張力是硅片切割工藝中相當(dāng)核心的要素之一。張力控制不好是產(chǎn)生線(xiàn)痕片、崩邊、甚至斷線(xiàn)的重要原因。 ①鋼線(xiàn)的張力過(guò)小，將會(huì)導(dǎo)致鋼線(xiàn)彎曲度