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1、第1章概述章概述1.1.什么是傳感器?什么是傳感器?傳感器定義為能夠感受規(guī)定的被測(cè)量并按照一定規(guī)律轉(zhuǎn)換成可用輸出信號(hào)的器件和裝置,通常由敏感傳感器定義為能夠感受規(guī)定的被測(cè)量并按照一定規(guī)律轉(zhuǎn)換成可用輸出信號(hào)的器件和裝置,通常由敏感元件和轉(zhuǎn)換元件組成。元件和轉(zhuǎn)換元件組成。1.21.2傳感器的共性是什么?傳感器的共性是什么?傳感器的共性就是利用物理規(guī)律或物質(zhì)的物理、化學(xué)、生物特性,將非電量(如位移、速度、加速度、傳感器的共性就是利用物理規(guī)律或
2、物質(zhì)的物理、化學(xué)、生物特性,將非電量(如位移、速度、加速度、力等)輸入轉(zhuǎn)換成電量(電壓、電流、電容、電阻等)輸出。力等)輸入轉(zhuǎn)換成電量(電壓、電流、電容、電阻等)輸出。1.31.3傳感器由哪幾部分組成的?傳感器由哪幾部分組成的?由敏感元件和轉(zhuǎn)換元件組成基本組成部分,另外還有信號(hào)調(diào)理電路和輔助電源電路。由敏感元件和轉(zhuǎn)換元件組成基本組成部分,另外還有信號(hào)調(diào)理電路和輔助電源電路。1.41.4傳感器如何進(jìn)行分類?傳感器如何進(jìn)行分類?(1)按傳感
3、器的輸入量分類,分為位移傳感器、速度傳感器、溫度傳感器、濕度傳感器、壓力傳感)按傳感器的輸入量分類,分為位移傳感器、速度傳感器、溫度傳感器、濕度傳感器、壓力傳感器等。(器等。(2)按傳感器的輸出量進(jìn)行分類,分為模擬式和數(shù)字式傳感器兩類。()按傳感器的輸出量進(jìn)行分類,分為模擬式和數(shù)字式傳感器兩類。(3)按傳感器工作原理分類,)按傳感器工作原理分類,可以分為電阻式傳感器、電容式傳感器、電感式傳感器、壓電式傳感器、磁敏式傳感器、熱電式傳感器、
4、可以分為電阻式傳感器、電容式傳感器、電感式傳感器、壓電式傳感器、磁敏式傳感器、熱電式傳感器、光電式傳感器等。(光電式傳感器等。(4)按傳感器的基本效應(yīng)分類,可分為物理傳感器、化學(xué)傳感器、生物傳感器。()按傳感器的基本效應(yīng)分類,可分為物理傳感器、化學(xué)傳感器、生物傳感器。(5)按傳感器的能量關(guān)系進(jìn)行分類,分為能量變換型和能量控制型傳感器。(按傳感器的能量關(guān)系進(jìn)行分類,分為能量變換型和能量控制型傳感器。(6)按傳感器所蘊(yùn)含的技術(shù)特征)按傳感器
5、所蘊(yùn)含的技術(shù)特征進(jìn)行分類,可分為普通型和新型傳感器。進(jìn)行分類,可分為普通型和新型傳感器。1.51.5傳感器技術(shù)的發(fā)展趨勢(shì)有哪些?傳感器技術(shù)的發(fā)展趨勢(shì)有哪些?(1)開(kāi)展基礎(chǔ)理論研究()開(kāi)展基礎(chǔ)理論研究(2)傳感器的集成化()傳感器的集成化(3)傳感器的智能化()傳感器的智能化(4)傳感器的網(wǎng)絡(luò)化)傳感器的網(wǎng)絡(luò)化(5)傳感)傳感器的微型化器的微型化1.61.6改善傳感器性能的技術(shù)途徑有哪些?改善傳感器性能的技術(shù)途徑有哪些?(1)差動(dòng)技術(shù)()
6、差動(dòng)技術(shù)(2)平均技術(shù)()平均技術(shù)(3)補(bǔ)償與修正技術(shù))補(bǔ)償與修正技術(shù)(4)(4)屏蔽、隔離與干擾抑制屏蔽、隔離與干擾抑制(5)(5)穩(wěn)定性處理穩(wěn)定性處理第2章傳感器的基本特性章傳感器的基本特性2.12.1什么是傳感器的靜態(tài)特性?描述傳感器靜態(tài)特性的主要指標(biāo)有哪些?什么是傳感器的靜態(tài)特性?描述傳感器靜態(tài)特性的主要指標(biāo)有哪些?答:傳感器的靜態(tài)特性是指在被測(cè)量的各個(gè)值處于穩(wěn)定狀態(tài)時(shí),輸出量和輸入量之間的關(guān)系。主要的答:傳感器的靜態(tài)特性是指在
7、被測(cè)量的各個(gè)值處于穩(wěn)定狀態(tài)時(shí),輸出量和輸入量之間的關(guān)系。主要的性能指標(biāo)主要有線性度、靈敏度、遲滯、重復(fù)性、精度、分辨率、零點(diǎn)漂移、溫度漂移。性能指標(biāo)主要有線性度、靈敏度、遲滯、重復(fù)性、精度、分辨率、零點(diǎn)漂移、溫度漂移。2.22.2傳感器輸入傳感器輸入輸出特性的線性化有什么意義?如何實(shí)現(xiàn)其線性化?輸出特性的線性化有什么意義?如何實(shí)現(xiàn)其線性化?答:傳感器的線性化有助于簡(jiǎn)化傳感器的理論分析、數(shù)據(jù)處理、制作標(biāo)定和測(cè)試。答:傳感器的線性化有助于簡(jiǎn)
8、化傳感器的理論分析、數(shù)據(jù)處理、制作標(biāo)定和測(cè)試。常用的線性化方常用的線性化方法是:切線或割線擬合,過(guò)零旋轉(zhuǎn)擬合,端點(diǎn)平移來(lái)近似,多數(shù)情況下用最小二乘法來(lái)求出擬合直線。法是:切線或割線擬合,過(guò)零旋轉(zhuǎn)擬合,端點(diǎn)平移來(lái)近似,多數(shù)情況下用最小二乘法來(lái)求出擬合直線。2.32.3利用壓力傳感器所得測(cè)試數(shù)據(jù)如下表所示,計(jì)算其非線性誤差、遲滯和重復(fù)性誤差。設(shè)壓力為利用壓力傳感器所得測(cè)試數(shù)據(jù)如下表所示,計(jì)算其非線性誤差、遲滯和重復(fù)性誤差。設(shè)壓力為0MPa0
9、MPa時(shí)輸出為時(shí)輸出為0mV0mV壓力為壓力為0.12MPa0.12MPa時(shí)輸出最大且為時(shí)輸出最大且為16.50mV.16.50mV.非線性誤差略非線性誤差略正反行程最大偏差正反行程最大偏差?Hmax=0.1mVHmax=0.1mV,所以,所以γH=γH=?Hmax0.1100%=%=0.6%YFS16.50Hmax0.1100%=%=0.6%YFS16.50重復(fù)性最大偏差為重復(fù)性最大偏差為?Rmax=0.08Rmax=0.08,所以,
10、所以γR=γR=?Rmax0.08=%=0.48%YFS16.5Rmax0.08=%=0.48%YFS16.52.42.4什么是傳感器的動(dòng)態(tài)特性?如何分析傳感器的動(dòng)態(tài)特性?什么是傳感器的動(dòng)態(tài)特性?如何分析傳感器的動(dòng)態(tài)特性?傳感器的動(dòng)態(tài)特性是指?jìng)鞲衅鲗?duì)動(dòng)態(tài)激勵(lì)(輸入)的響應(yīng)(輸出)特性,即輸出對(duì)隨時(shí)間變化的輸入傳感器的動(dòng)態(tài)特性是指?jìng)鞲衅鲗?duì)動(dòng)態(tài)激勵(lì)(輸入)的響應(yīng)(輸出)特性,即輸出對(duì)隨時(shí)間變化的輸入量的響應(yīng)特性。量的響應(yīng)特性。2.132.1
11、3設(shè)一力傳感器可簡(jiǎn)化為典型的質(zhì)量設(shè)一力傳感器可簡(jiǎn)化為典型的質(zhì)量彈簧彈簧阻尼二階系統(tǒng),已知該傳感器的固有頻率阻尼二階系統(tǒng),已知該傳感器的固有頻率f0=1000Hzf0=1000Hz,若其阻尼比為若其阻尼比為0.70.7,試問(wèn)用它測(cè)量頻率為,試問(wèn)用它測(cè)量頻率為600Hz600Hz、400Hz400Hz的正弦交變力時(shí),其輸出與輸入幅值比的正弦交變力時(shí),其輸出與輸入幅值比A(ω)A(ω)和相和相位差位差Φ(ω)Φ(ω)各為多少?各為多少?第三章
12、電阻式傳感器第三章電阻式傳感器3.13.1應(yīng)變電阻式傳感器的工作原理是什么?應(yīng)變電阻式傳感器的工作原理是什么?電阻應(yīng)變式傳感器的工作原理是基于應(yīng)變效應(yīng)的。電阻應(yīng)變式傳感器的工作原理是基于應(yīng)變效應(yīng)的。當(dāng)被測(cè)物理量作用在彈性元件上,彈性元件在力、力矩或壓力等作用下發(fā)生形變,變換成相應(yīng)的應(yīng)變當(dāng)被測(cè)物理量作用在彈性元件上,彈性元件在力、力矩或壓力等作用下發(fā)生形變,變換成相應(yīng)的應(yīng)變或位移,然后傳遞給與之相連的應(yīng)變片,將引起應(yīng)變敏感元件的電阻值發(fā)生
13、變化,通過(guò)轉(zhuǎn)換電路變成電量或位移,然后傳遞給與之相連的應(yīng)變片,將引起應(yīng)變敏感元件的電阻值發(fā)生變化,通過(guò)轉(zhuǎn)換電路變成電量輸出。輸出的電量大小反映了被測(cè)物理量的大小。輸出。輸出的電量大小反映了被測(cè)物理量的大小。3.23.2電阻應(yīng)變片的種類有哪些?各有何特點(diǎn)?電阻應(yīng)變片的種類有哪些?各有何特點(diǎn)?按組成材料有金屬和半導(dǎo)體之分,金屬應(yīng)變片受力時(shí),主要是基于應(yīng)變效應(yīng),是引起應(yīng)變片的外形變按組成材料有金屬和半導(dǎo)體之分,金屬應(yīng)變片受力時(shí),主要是基于應(yīng)變
14、效應(yīng),是引起應(yīng)變片的外形變化進(jìn)而引起電阻值變化,而半導(dǎo)體應(yīng)變片時(shí)基于壓阻效應(yīng)工作的,當(dāng)受力時(shí),引起應(yīng)變片的電阻率變化進(jìn)化進(jìn)而引起電阻值變化,而半導(dǎo)體應(yīng)變片時(shí)基于壓阻效應(yīng)工作的,當(dāng)受力時(shí),引起應(yīng)變片的電阻率變化進(jìn)而引起電阻值變化。而引起電阻值變化。按結(jié)構(gòu)形式有絲式和箔式之分。絲式是應(yīng)變金屬絲彎曲成柵式結(jié)構(gòu),工藝簡(jiǎn)單,價(jià)錢便宜。箔式是采按結(jié)構(gòu)形式有絲式和箔式之分。絲式是應(yīng)變金屬絲彎曲成柵式結(jié)構(gòu),工藝簡(jiǎn)單,價(jià)錢便宜。箔式是采用光刻和腐蝕等工藝
15、制成的,工藝復(fù)雜,精度高,價(jià)錢較貴。用光刻和腐蝕等工藝制成的,工藝復(fù)雜,精度高,價(jià)錢較貴。3.33.3引起電阻應(yīng)變片溫度誤差的原因是什么?電阻應(yīng)變片的溫度補(bǔ)償方法是什么?引起電阻應(yīng)變片溫度誤差的原因是什么?電阻應(yīng)變片的溫度補(bǔ)償方法是什么?一是電阻溫度系數(shù),二是線膨脹系數(shù)不同。一是電阻溫度系數(shù),二是線膨脹系數(shù)不同。單絲自補(bǔ)償應(yīng)變片,雙絲組合式自補(bǔ)償應(yīng)變片,補(bǔ)償電路單絲自補(bǔ)償應(yīng)變片,雙絲組合式自補(bǔ)償應(yīng)變片,補(bǔ)償電路3.43.4試分析差動(dòng)測(cè)量
16、電路在應(yīng)變式傳感器中的好處。試分析差動(dòng)測(cè)量電路在應(yīng)變式傳感器中的好處。靈敏度提高一倍,非線性得到改善。靈敏度提高一倍,非線性得到改善。3.53.5如果將如果將100100?應(yīng)變片粘貼在彈性元件上,試件截面積應(yīng)變片粘貼在彈性元件上,試件截面積S=0.510S=0.510?4m24m2,彈性模量,彈性模量E=21011Nm2E=21011Nm2,若,若5104N5104N的拉力引起應(yīng)變計(jì)電阻變化為的拉力引起應(yīng)變計(jì)電阻變化為1?,求該應(yīng)變片的
17、靈敏度系數(shù)。,求該應(yīng)變片的靈敏度系數(shù)。解:解:K=K=?R?R1εR1ε,已知,已知?R=1R=1?,所以,所以=RR100=RR100F50103F50103292σ==Nm=110Nm292σ==Nm=110Nm,?4A0.5104A0.510σ1109σ1109?3由σ=Eεσ=Eε得ε===510ε===510,E21011E21011所以所以K=K=?RR1100==2ε510RR1100==2ε510?33.63.6一個(gè)量程
18、為一個(gè)量程為10kN10kN的應(yīng)變式測(cè)力傳感器,其彈性元件為薄壁圓筒軸向受力,外徑的應(yīng)變式測(cè)力傳感器,其彈性元件為薄壁圓筒軸向受力,外徑20mm20mm,內(nèi)徑,內(nèi)徑18mm18mm,在,在其表面粘貼八個(gè)應(yīng)變片,四個(gè)沿軸向粘貼,四個(gè)沿周向粘貼,應(yīng)變片的電阻值均為其表面粘貼八個(gè)應(yīng)變片,四個(gè)沿軸向粘貼,四個(gè)沿周向粘貼,應(yīng)變片的電阻值均為120120?,靈敏度為,靈敏度為2.02.0,泊松比為,泊松比為0.30.3,材料彈性模量為,材料彈性模量
19、為2.11011Pa2.11011Pa,要求:,要求:(1)繪出彈性元件貼片位置及全橋電路。()繪出彈性元件貼片位置及全橋電路。(2)計(jì)算傳感器在滿量程時(shí),各應(yīng)變片電阻變化。()計(jì)算傳感器在滿量程時(shí),各應(yīng)變片電阻變化。(3)當(dāng)橋)當(dāng)橋路的供電電壓為路的供電電壓為10V10V時(shí),計(jì)算傳感器的輸出電壓。時(shí),計(jì)算傳感器的輸出電壓。解:(解:(2)A=π(R2A=π(R2?r2)=59.710r2)=59.710?6m26m2?R1=R1=?R
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