直邊衍射場(chǎng)沉積鉻原子三維特性分析.pdf

1、原子光刻是通過(guò)激光駐波場(chǎng)會(huì)聚原子沉積光柵得到具有周期性的納米量級(jí)條紋的技術(shù)。由于沉積基片的存在，會(huì)在激光駐波場(chǎng)內(nèi)產(chǎn)生衍射現(xiàn)象，影響激光駐波場(chǎng)內(nèi)光強(qiáng)分布，導(dǎo)致沉積納米光柵結(jié)構(gòu)發(fā)生變化。因此，探討激光駐波場(chǎng)會(huì)聚原子過(guò)程中沉積基片的衍射影響具有重要意義。
　　本文基于半經(jīng)典模型分析了直邊衍射擾動(dòng)下激光駐波場(chǎng)沉積鉻原子三維運(yùn)動(dòng)軌跡及沉積特性，并從半高寬與對(duì)比度入手對(duì)沉積光柵進(jìn)行研究。通過(guò)探討不同衍射模型確定基片產(chǎn)生衍射為直邊衍射，并對(duì)直邊

2、衍射場(chǎng)進(jìn)行分析，建立了直邊衍射擾動(dòng)下激光駐波場(chǎng)模型，通過(guò)四階Runge-Kutta算法，對(duì)直邊衍射擾動(dòng)下鉻原子在駐波場(chǎng)中的三維運(yùn)動(dòng)軌跡及沉積效果進(jìn)行仿真。
　　考慮到激光參數(shù)的影響，本文分析了激光功率與失諧量變化時(shí)，鉻原子在直邊衍射場(chǎng)中運(yùn)動(dòng)軌跡和沉積效果。從半高寬和對(duì)比度兩方面入手，對(duì)鉻原子沉積光柵結(jié)構(gòu)進(jìn)行數(shù)值分析。結(jié)果表明：當(dāng)激光功率為3.93mW，失諧量為200MHz時(shí)，原子沉積光柵的半高寬為6.04nm，對(duì)比度為0.863。