研究性實(shí)驗(yàn)報(bào)告——各向異性磁阻傳感器與磁場(chǎng)測(cè)量

1、基礎(chǔ)物理學(xué)基礎(chǔ)物理學(xué)研究性實(shí)驗(yàn)報(bào)告研究性實(shí)驗(yàn)報(bào)告題目：各向異性磁阻傳感器（目：各向異性磁阻傳感器（AMRAMR）與地磁場(chǎng)測(cè)量）與地磁場(chǎng)測(cè)量第一作者：第一作者：1111111111111111第二作者：第二作者：2222222222222222學(xué)院：航空科學(xué)與工程學(xué)院院：航空科學(xué)與工程學(xué)院專業(yè)：飛行器設(shè)計(jì)與工程業(yè)：飛行器設(shè)計(jì)與工程班級(jí)：級(jí)：11051911051920132013年5月1414日北京航空航天大學(xué)研究性實(shí)驗(yàn)報(bào)告北京航空航天大

2、學(xué)研究性實(shí)驗(yàn)報(bào)告1各向異性磁阻傳感器與磁場(chǎng)測(cè)量摘要摘要：物質(zhì)在磁場(chǎng)中電阻率發(fā)生變化的現(xiàn)象稱為磁阻效應(yīng)，磁阻傳感器利用磁阻效應(yīng)制成。磁阻傳感器可用于直接測(cè)量磁場(chǎng)或磁場(chǎng)變化，如弱磁場(chǎng)測(cè)量。也可通過磁場(chǎng)變化測(cè)量其它物理量，如利用磁阻效應(yīng)已制成各種位移、角度、轉(zhuǎn)速傳感器，廣泛用于各類需要自動(dòng)檢測(cè)與控制的領(lǐng)域。磁阻元件的發(fā)展經(jīng)歷了半導(dǎo)體磁阻（MR），各向異性磁阻（AMR），巨磁阻（GMR），龐磁阻（CMR）等階段。本實(shí)驗(yàn)研究AMR的特性并利用它對(duì)

3、磁場(chǎng)進(jìn)行測(cè)量。關(guān)鍵詞關(guān)鍵詞：AMR，磁阻效應(yīng)，電磁轉(zhuǎn)換，磁場(chǎng)測(cè)量一、實(shí)驗(yàn)要求一、實(shí)驗(yàn)要求1熟悉和了解AMR的原理2測(cè)量磁阻傳感器的磁電轉(zhuǎn)換特性和各向異性特性3測(cè)量赫姆霍茲線圈的磁場(chǎng)分布4測(cè)量地磁場(chǎng)磁場(chǎng)強(qiáng)度，磁傾角，磁偏角二、實(shí)驗(yàn)原理二、實(shí)驗(yàn)原理各向異性磁阻傳感器AMR（AnisotropicMagoResistivesenss）由沉積在硅片上的坡莫合金（Ni80Fe20）薄膜形成電阻。沉積時(shí)外加磁場(chǎng)，形成易磁化軸方向。鐵磁材料的電阻與電