變壓吸附操作規(guī)程

1、變壓吸附操作規(guī)程一、概況1.裝置組成：本裝置由變壓吸附尾氣凈化以及產(chǎn)品氣緩沖系統(tǒng)組成；裝置名稱：1000Nmh尾氣凈化回收裝置。32.裝置界區(qū)范圍如下圖所示：②產(chǎn)品氣1①原料氣③產(chǎn)品氣23.裝置年運行時間按8000小時計。二、原料及產(chǎn)品1.原料：本裝置原料由工廠用管道送到界區(qū)內(nèi)對接點，年消耗量（按年運行8000小時計）尾氣8.010Nm。63原料氣的技術(shù)規(guī)格如下：⑴溫度：10～15℃⑵壓力：～0.5MPa（表壓）⑶流量：1000Nmh3

2、⑷組成：組成SiHCl3HClH2N2CO2SiCl4ΣV%0.08733.0064.062.810.030.0121002.產(chǎn)品:(1)產(chǎn)品氣1（凈化氣）①組成：NH≥99.99%，HCl≤10mgNm，SiHCl≤10mgNm22333②壓力：～0.4MPa（表壓）③溫度：≤40℃④氣量：～527Nmh3（2）產(chǎn)品氣（解析氣）①收率：SiHCl、SiCl、HCl收率：≥99%34干法回收裝置三均升（ER3）0.07≤40二均升（ER

3、2）0.14≤40一均升（ER1）0.29≤40最終升壓（FR）0.5≤40現(xiàn)以A塔在一次循環(huán)內(nèi)經(jīng)歷的十二個步驟工況為例，對本裝置513&PPV變壓吸附工藝過程進行說明：1吸附（A）開啟程控閥KV901A、KV902A、V102A、V104A，原料氣通過KV901A進入A床，原料氣中的氯化氫和三氯氫硅等在吸附的壓力下被吸附劑吸附，未被吸附的氫氣、氮氣等組份（產(chǎn)品氣1）經(jīng)KV902A進入氫氣緩沖罐（V902A、V902B）經(jīng)調(diào)節(jié)閥PV90

4、5調(diào)節(jié)后由管道輸送至氯堿廠。當氯化氫和三氯氫硅的吸附前沿到達吸附塔的某一位置時，關閉程控閥KV901A、KV902A，原料氣停止進入A床，床內(nèi)保持吸附時的壓力。2順向放壓1（PP1）A塔吸附步驟結(jié)束后，開啟閥KV904A、V117、KV909、V116、KV908，A塔內(nèi)氣體順著吸附的方向從吸附塔輸出，進入到放空氣管道，A塔降至一定壓力后關閉KV908，該步驟結(jié)束，閥KV904A和KV909保持開啟狀態(tài)。3.順向放壓2（PP2）順放1結(jié)

5、束后，開啟KV905D，對處于抽空步驟的D塔進行沖洗再生。4.壓力均衡1降（ED1）A塔順放2步驟完成后，關閉閥KV904A、KV905D，開啟KV905A和KV905C，使A塔出口端與處于ER1狀態(tài)的C塔進行壓力均衡，使得吸附劑吸附前沿得以平穩(wěn)推進，此時A塔內(nèi)的氯化氫和三氯氫硅氣體得到進一步的濃縮。該步驟結(jié)束時，A塔和C塔的壓力基本上達到平衡。5.壓力均衡2降（ED2）A塔一均降步驟完成后關閉KV905A，KV905C，開啟KV904

6、A、V118，KV907，使A塔出口端與均壓罐V901連通進行壓力均衡，A塔內(nèi)氯化氫和三氯氫硅氣體進一步濃縮，該步驟結(jié)束時A塔和均壓罐V901壓力基本上達到平衡。6.壓力均衡3降（ED3）A塔二均降步驟完成后，關閉程控閥KV907，程控閥KV904A保持開啟狀態(tài)，開啟KV904D，使A塔出口端與處于ER3狀態(tài)的D塔進行壓力均衡，進一步回收A塔壓力，并進一步濃縮A塔內(nèi)氯化氫和三氯氫硅氣體，該步驟結(jié)束時，A塔和D塔壓力基本上達到平衡。7.逆

7、向放壓（D）A塔三均降步驟結(jié)束后，關閉KV904A，打開KV906A并在逆放不同階段先后開啟程控閥KV915和KV916，逆放初期壓力較高部分氣體先通過KV915進入解析氣緩沖罐V903A，待塔內(nèi)壓力降至一定時，關閉KV915，逆放后期壓力較低氣體經(jīng)KV916，進入到產(chǎn)品氣體緩沖罐V903B這一過程中大部分被吸附的氯化氫和三氯氫硅提組份脫附了出來，吸附劑得到一定程度的再生。逆放步驟結(jié)束時，吸附塔A內(nèi)壓力接近常壓。8.抽空及抽動沖洗（V&