0.18umcmos圖像傳感器失效分析及工藝優(yōu)化

1、復(fù)旦大學(xué)碩士學(xué)位論文0.18um CMOS圖像傳感器失效分析及工藝優(yōu)化姓名：朱瑾申請學(xué)位級(jí)別：碩士專業(yè)：電子與通信工程指導(dǎo)教師：鮑敏杭20070522A b s t r a c tW h e n I n f o r m a t i o nA g e c a m e ，C M O S i m a g es e n s o r sa r eb e i n gu t i l i z e di nm a n y i n d u s t r i

2、a l a n dc o n s u m e rs e c t o r s ，s u c ha s c e l l p h o n e s ，p e m o n a ld i g i t a la s s i s t a n t s ，c o n s u m e r a n d i n d u s t r i a ld i g i t a lc a m e r a s ．C M O S i m a g e s e n s o r s u

3、 s e t h em a t e r i a l sa n d t e c h n o l o g y o fC M O S s i l i c o nc h i p f a b r i c a t i o n t o c r e a t e p h o t o s e n s i t i v ed e v i c e st h a t c a p t u r e a n dp r o c e s so p t i c a l i m

4、 a g e s w i t h a s i n g l e i n t e g r a t e d c h i p ．C o m p a r i n gt o c h a r g e c o u p l ed e v i c e ( C C D ) ，t h ea d v a n t a g e so fC M O S i m a g e r sa r el o ws u p p l yv o R a g ea n dp o w e

5、r c o n s u m p t i o n ，r a n d o ma c c e s s o fi m a g e d a t a ，l o wc o s t ，a n dc o m p a t i b i l i t yw i t hC M O S t e c h n o l o g i e s ．T h er e s e a r c hf o r t h e t h e s i s i s o n eC M O Si m a

6、g e s e n s o ro f3 0 m i l l i o np i x e l s ( V G A6 4 0 x 4 8 0 ) ，w h i c hu s e s 0 ．1 即mC M O Sp r o c e s s ．T h i s p a p e ri n c l u d e sC M O S i m a g es e n s o r ’Sd e v e l o p m e n t ，s t r u c t u r e

7、a n dd e v i c ep r i n c i p l e ，0 ．1 即mp r o c e s ss e t u p ．T h ek e y f o r t h ep a p e r i st h em a i n f a i l u r em o d e s w h i c ha p p e a r e di nm a s s p r o d u c t i o n ，h o w t of i n do u t t h e

8、r o o tc a u s e o ff a i l u r ea n d t h es o l u t i o n f o ry i e l di m p r o v e m e n t ．I n t h em a s sp r o d u c t i o no fC M O SI m a g es e n s o r ，w eh a v ef a c e dt of o u rf a i l u r em o d e s ：b y

9、 s h o ti s s u e ，c e n t e ri s s u e ，l i n es h a p ei s s u ea n de d g ei s s u e ．W e u s e ds o m et e c h n o l o g i e st of i n d o u tt h er o o tc a u s e ，s u c ha si n l i n e d a t am o n i t o r , p h y

10、s i c a l f a i l u r e a n a l y s i s ，d a t a s t a t i s t i c a n a l y s i s a n d s o l u t i o n l o tv e r i f i c a t i o n ．T h e nw e f o u n do u tt h er o o tc a u s eo fe v e r yf a i l u r e m o d e ：F o

11、rb ys h o ti s s u e ，i tr e l a t e dt op h o t oa n di m p l a n ts t e p ．C e n t e ri s s u ei sc a u s e db y n o te n o u g hc o n t a c t e t c ht i m e ．U l t r a s o n i ci n w e t c l e a ns t e p ，w h i c hi n

12、 d u c e ds i l i c o nm e c h a n i c a ld a m a g e ，c a u s e dl i n es h a p e i s s u e ．E d g ei s s u ei sc a u s e db y l o w e rr e f r a c t i v ei n d e x ．A f t e rp r o c e s sp a r a m e t e r o p t i m i z

13、 a t i o n ，w eh a v e g o tg o o dy i e l df o rC M O SI m a g es e n s o rA n d i t i s g o o dl e s s o n l e a r n f o r t h ef a b r i c a t i o n o f a d v a n c e dC M O S I m a g e s e n s o r -K e y w o r d ：I m