基于d.f.d.的微流控芯片流道深度檢測研究

1、洳專：J ～嚎’碩士學(xué)位論文⑧浙江大學(xué)碩士學(xué)位論文 基于DE D 的微流控芯片流道深度檢測研究R e s e a r c h o nt h e D e p t h M e a s u r e m e n t o f M i c r o C h a n n e l s o fM i c r o F l u i d i cC h i p s B a s e d o nD ．E D ．M i c r os y s t e m h a sa l

2、 r e a d y a p p l i e d i n a l l k i n d so fv o c a t i o n sa n dr e s e a r c h e de x t e n s i v e l y a tp r e s e n t ．A so n eo f t h em o s ti m p o r t a n te m b r a n c h m a n to f M i c r oS y s t e m , t

3、 h ei n s p e c t i o no fm i c r oc o m p o n e n t i s c l o s e l y l i n k e dw i t ht h e d e v e l o p m e n t o f M i c r o S y s t e ma n ds u p p l i e de a c h o t h e r ．I t i st h e m a i n m e a n s t ou n d

4、 e r s t a n dt h eM E M S a n dt h e m o s t i m p o r t a n ta p p r o a c ht ov e i l f y t h eS I W A ? e s s e so r n o to f M i c r o S y s t e m ．T h ei n s p e c t i o nt e c h n o l o g ya n d t h ei n s p e c t

5、 i o ne q u i p m e n t a r ei nc o n t r o lb yf e w c o u n t r i e ss u c h a sJ a p a na n dG e r m a n y , a n d t h e s a f e g u a r do f t a c h n o l o g yi sv e r ys t r i c t l y , a t t h es a m et i m e ，t h

6、 ee q u i p m e n t sa r e e x p e n s i v e ．S om a n yo u r p e o p l e s i n t h i s v o c a t i o na r eo n I y t h eo p c r a t e rw h o c a l lo n l yk n o w h o w t ou 船t h e e q u i p m e n t a n dt h e r e l a t

7、 e ds o R w a r e ．S o i t ’sn e c e s s a r yt ot a k e ar e s e a r c ho n t h i ss u b j e c t ．M i c r of l u i d i cc h i p s 辨as p e c i a lu s e o f M i c r o s y s t e m i nm o d e r nm e d i c i n e a n da n a l

8、 y s i sc h y m i s t r y ．M i c r of l u i d i c c h i p sa l e m a d e i nb a t c h si l I o u r c o u n t r y n o w , b u t i ti s n ∞韶s a r yt oi n s p e c tt h eM i c r oq u a l i t yo ft h e ma sw e c a n m a k et

9、h e mu s e dw i d e l y ．T h ed e p t hm e a s u r e m e n t o f m i c r o c h a n n e l si so n e o f t h e m o s t i m p o r t a n t t a s ki n t h ei n s p e x a i o n o f m i c r o f l u i d i cc h i p s ．M a k eas t

10、 u d y o nt h ed e p t hm e a s ㈣s e n t o f m i c r o f l u i d i cc h i p sb a s e do n D ．E D ．( d e ：p t hf r o md e f o c u s ) i sa t r y , b u t t h er e s u l to f t h ee x p e r i m e n tp r o v e d t h em e t h

11、 o di s e f f e c t i v ea n dg i v ea n ww a y t oi n s p e c t t h e d i m e n s i o no f m i c r o c o m p o n e n t s ．C o n t e n to f t h e d i s s e r t a t i o n ：T h em a i nc o n t e n t o ft h ed i s s e r t a

12、 t i o nl i e so n t h e t w oa s p e c t s ．t h eo n ei s h o w t oc o l l e c tt h ed i g i t a li m a g i n gb y t h ed i g i t a lm i c r o s c o p e w i t hh i 【g hm u l t i p l e s ，t h eo t h e ro n e i st h ep r

13、o c e s s i n go ft h e c o l l e c t e d d i g i t a li n l a g j I l 舀c o m b i n e d w i t ht h e I I l 砌咖- p r e s e r v i n ga n d t h e p r i n c i p l eo f D ．E D ．t oc a l c u l a t e dt h ed e p t ho f g r o o v

14、 e o f m i c r o f l u i d i cc l l i p s ．C h a p t e r 1 ，a f t e rg i v e nt h es y s t e m i cd i s c u s s i o no f t h e o r ya n dt h e d c v e l o p m e n t s t a t u so f m i c r os y s t e m , g i v ea d e s c

15、r i p t i o n o f t h ei n s p e c t i o nm e t h o d s a n d t h e i rp r i n c i p l e s ．T h es h o r t c o m i n go f t h e mi s p m f o r w a r d ．I n t h ef o l l o w i n gp u tf o r w a r d t h em e a n i n ga n d

16、t h eb a c k g r o u n d o ft h e d i s s e r t a t i o na n d t h ec o n c e p t o f c o m p u t e r v i s i o n ．A tl a s t , t h ea r r e n g e m e n to f t h ec h a p t e r si s 舀v e l LC h a p t e r2 ，g i v e as u m

17、 m a r i z a t i o no f t h e p r i n c i p l e a n d t h em e t h o d o f 豫c a r r y o u t o f t h e D ．E D ．t e c h n o l o g y , t h et r a i t so f a l lt h e s e m e t h o d s i sa n a l y s i s ．C h a p t e r3 ，a c

18、 c o r d i n gw i t ht h e p r i n c i p l eo f t h eD ．F ．D ．t e c h n o l o g y , t h es c h e m eo ft h ed e p t hi n s p e c t i o n i s d e s i g n e d , c o m b i n e dw i t ht h ed i g i t a l i l I l a g i n gp r

19、 o c e s s i n ga n dm o m e n t - p r e s e r v i n gt e c i m o l o g y , w e c a n c a l c u l a t et h e d e p t ho f t h eg r o o v e o f t h em i c r o f l u i d i c c h i p s ．C h a p t e r4 ' m a k e a t h o

20、r o u g h r e s e a r c h o n t h e d i g i t a l i m a g i n g p r o c e s s i n g o f t h e c o l l e c t e d p h o t o ,g i v e t h e r e l a t e dc o d eo f t h e p r o c e s s i n g , a n dg e t t h e r e s u l to f

21、 t h e m ．C h a p t e r 5 ，a c c o r d i n gw i t h t h e s c h e m e g i v e n i nc h a p t e r 屯m a k e a f l o w s h e e t o f t h ec a l c u l a t i o no f t h e d e p t ho f t h e m i c r o f l u i d i cc h i p s ,

22、a n de x p e r i n l e n tm a n y t i m e sa n dg e tt h ed e p t h a sr e s u l t sa tl a s t ．P u t f o r w a r d t h es O Ⅲ粥o f e n m r a n d t h e w a y s t or e d u c et h e e r r o rj nt h e f o l l o w i n g p a r

23、 a g r a p h ．L a s tc h a p t e r , t h ei m p o r t a n t r e s u l t sa n dc o n c l u s i o n so f t h i sd i s s e r t a t i o nh a v e b ∞n s u m m a r i z e da n d t h ep r o s p e c tf o rt h ea p p l i c a t i o

24、 n o f D ．F ．D ．t e c h n o l o g yh a sb e e no p e n e d l l p ．K e y w o r d s ：M i c r o S y s t e m , m i c r o f l u i d i cc h i p s ，D ．F - D ．，d e p t h m e a s u r e m e n t , m o m e n t - p r e s e r v i n g