電感耦合驅(qū)動無源無線mems開關(guān)控制方法研究

1、Y 3 3 13 15 0學(xué)校代碼： ! Q 2 8 魚分類號： ! 叢壘漸級： 壘葒6 2 1 ．3學(xué)號： 1 4 1 2 3 0隸 I 初 大 ◆瑩碩士學(xué)位論文電感耦合驅(qū)動無源無線M E M S 開關(guān)控制方法研究研究生姓名： 金月申請學(xué)位類別 王堂亟± 學(xué)位授予單位 塞蜜太堂一級學(xué)科名稱 皇王抖堂皇撞苤二級學(xué)科名稱煎皇壬堂生固簽皇王堂論文答辯日期 2 0 1 7 年0 5 月2 4 日學(xué)位授予日期 2 0 1 7 年月 日

2、答辯委員會主席 鏖叢! 堊 評 閱2 0 17 年0 5 月2 4 日李曉鳴R E S E A R C H O N T H E C O N T R O LM E T H O D O F M E M S S W I T C H D R I V E N B Y 姍U C T I V E C O U P L I N GA T h e s i sS u b m i R e d t oS o u t h e a s t U n i v e r s

3、 i t yF o r t h e A c a d e m i c D e g r e e o f M a s t e r o f E n g i n e e r i n gB YJ I N Y u eS u p e r v i s e d S u p e r v i s e db v b VP r o f ．H U A N G Q i n g —a nS c h o o lo f E l e c t r o n i cS c i e