多晶硅生產(chǎn)工藝的發(fā)展職業(yè)學(xué)院化學(xué)工程畢業(yè)論文

1、揚(yáng)州工業(yè)職業(yè)技術(shù)學(xué)院 揚(yáng)州工業(yè)職業(yè)技術(shù)學(xué)院2009 — 2010 學(xué)年第 一 學(xué)期畢業(yè)設(shè)計(jì)（論文） 畢業(yè)設(shè)計(jì)（論文）（課程設(shè)計(jì)） （課程設(shè)計(jì)）課題名稱： 多晶硅生產(chǎn)工藝的發(fā)展設(shè)計(jì)時(shí)間： 2009.11.23～2009.12.10系 部： 化 學(xué) 工 程 系班 級(jí)： 0703 應(yīng)化姓 名： 侍昌蕾指導(dǎo)教師： 張 偉揚(yáng)州工業(yè)職業(yè)技術(shù)學(xué)院1目 錄引言...............................................

2、.................................................................................4一、多晶硅的現(xiàn)狀及發(fā)展前景....................................................................................51.1 多晶硅的應(yīng)用..............................

3、...........................................................................51.2 多晶硅在我國的發(fā)展.............................................................................................51.3 全球多晶硅的發(fā)展.........................

4、.......................................................................7二、多晶硅產(chǎn)業(yè)總體發(fā)展趨勢(shì)..................................................................................102.1 多晶硅產(chǎn)業(yè)產(chǎn)能發(fā)展分析....................................

5、...............................................102.2 多晶硅生產(chǎn)工藝發(fā)展趨勢(shì)..................................................................................122.2.1 半導(dǎo)體用多晶硅技術(shù)及發(fā)展趨勢(shì)....................................................

6、...............122.2.2 可再生能源光伏產(chǎn)業(yè)用多晶硅發(fā)展趨勢(shì)......................................................132.2.3 國內(nèi)多晶硅產(chǎn)業(yè)技術(shù)發(fā)展趨勢(shì)......................................................................13三、多晶硅生產(chǎn)流程的發(fā)展.....................

7、.................................................................143.1 SiCl4 法制備第一代多晶硅..............................................................................143.2 SiH2Cl2 法制備第二代多晶硅.................................

8、.........................................163.3 SiHCl3 法制備第三代多晶硅.............................................................................173.4 改良西門子法制備多晶硅...............................................................

9、....................183.4.1 大型多晶棒節(jié)能型還原爐..............................................................................183.4.2 導(dǎo)熱油循環(huán)冷卻還原爐工藝技術(shù)..................................................................193.4.3 還原尾氣的干法

10、回收技術(shù)..............................................................................193.4.4 四氯化硅（SiCl4）氫化反應(yīng)技術(shù)................................................................193.5 SiHCl3 法的探討................................

11、..............................................................20五、我國多晶硅光伏產(chǎn)業(yè)面臨三大困境..................................................................245.1 金融危機(jī)使多晶硅產(chǎn)業(yè)急轉(zhuǎn)直下.....................................................

12、...............245.2 多晶硅光伏產(chǎn)業(yè)發(fā)展面臨三大困境................................................................245.3 多晶硅光伏產(chǎn)業(yè)“兩頭在內(nèi)“才能有出路......................................................25六、當(dāng)代多晶硅制備工藝中的不足及改進(jìn)措施....................

13、..................................266.1 多晶硅制備工藝中所存在的不足....................................................................266.2 改進(jìn)措施........................................................................................