2023年全國碩士研究生考試考研英語一試題真題(含答案詳解+作文范文)_第1頁
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文檔簡介

1、ZnO作為一種新型的半導(dǎo)體材料,兼具有光、電、鐵電、壓電等特性,近幾十年,成為備受關(guān)注的新型功能材料。本文采用射頻磁控濺射技術(shù)在硅和玻璃基底上分別沉積了Ti摻雜ZnO(TZO)薄膜和Ti_Al共摻雜ZnO(TAZO)薄膜。分別利用掃描電子顯微鏡(SEM)、X射線衍射(XRD)、UV-3600紫外-可見分光光度計(UV/VIS)光學(xué)測試系統(tǒng)、HMS-2000霍爾效應(yīng)測試系統(tǒng)等多種表征手段,研究了不同Ti摻雜量、濺射功率和氧分壓對TZO薄膜

2、微觀結(jié)構(gòu)和光電性能的影響,以及不同Al摻雜量、氧分壓對TAZO薄膜微觀結(jié)構(gòu)和光電性能的影響。研究結(jié)果如下:
  XRD檢測發(fā)現(xiàn)Ti和Ti_Al摻雜ZnO薄膜均為六角纖鋅礦結(jié)構(gòu),具有良好的c軸擇優(yōu)取向。當(dāng)Ti摻雜為3at%時,TZO薄膜的(002)衍射峰具有最小的半高寬,這是因為Ti摻雜在一定程度上刺激了TZO薄膜晶粒的生長,使得薄膜結(jié)晶質(zhì)量提高,此時為2.08×10-3Ω·cm,此時載流子濃度為1.37×1019·cm-3;當(dāng)Ti

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