濺射ZnO薄膜結(jié)構(gòu)與光學(xué)性能研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、該文利用直流反應(yīng)磁控濺法在Si(111)、Si(100)、玻璃和藍寶石上沉保重優(yōu)質(zhì)ZnO薄膜.熒光光譜測試首次發(fā)現(xiàn):在硅上濺射的ZnO在室外溫下受激發(fā)射波長377nm左右的紫外光特征峰,此外在可見光區(qū)域還出現(xiàn)波長500-569nm的ZnO寬綠光特征峰.在帶連輻射區(qū)域( 377nm左右)發(fā)現(xiàn)多個發(fā)光峰,除帶間復(fù)合以外的其他帶邊發(fā)光峰很可能來自晶體缺陷產(chǎn)生的淺施主與價帶受主的復(fù)合.襯底溫度提高有利于抑制黃光發(fā)射,但對綠光發(fā)射影響不明顯.這種

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