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文檔簡(jiǎn)介
1、現(xiàn)代工業(yè)生產(chǎn)中,精密工作臺(tái)被廣泛的應(yīng)用到了航天航空、通信、醫(yī)療、天文、軍事、生物研究、高精度測(cè)量等科技領(lǐng)域。精密定位工作臺(tái)是精密加工和制作精密儀器的關(guān)鍵,精密工作臺(tái)的精度決定了測(cè)量和生產(chǎn)的產(chǎn)品的精度。可以看出精密定位工作臺(tái)在高精度儀器和尖端測(cè)量中有著決定性的位置。精密工作臺(tái)的各項(xiàng)技術(shù)指標(biāo)代表國(guó)家精密領(lǐng)域的發(fā)展水平,也是各國(guó)高科技發(fā)展水平的一項(xiàng)重要衡量標(biāo)準(zhǔn)。本研究就是從這一生產(chǎn)實(shí)際問(wèn)題出發(fā),采用雙閉環(huán)反饋控制方法,在利用現(xiàn)在很普遍的光柵測(cè)
2、量和控制系統(tǒng)的基礎(chǔ)上,增加壓電陶瓷與壓電陶瓷信號(hào)采集系統(tǒng)組成的二級(jí)閉環(huán)控制系統(tǒng),能使精密工作臺(tái)的定位精度達(dá)到納米級(jí)。
本設(shè)計(jì)將以具有較大量程的滾珠絲桿為基礎(chǔ)導(dǎo)軌平臺(tái),步進(jìn)電機(jī)為驅(qū)動(dòng)裝置,光柵尺傳感器為反饋裝置,搭建底層粗工定位平臺(tái)。輸入相應(yīng)信號(hào),步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)滾珠絲桿導(dǎo)軌進(jìn)行移動(dòng),再利用光柵尺檢測(cè)實(shí)際位移,轉(zhuǎn)換為位移電信號(hào),進(jìn)行反饋,以矯正電機(jī)位移準(zhǔn)確性,從而實(shí)現(xiàn)了大量程的基礎(chǔ)上達(dá)到一定定位精度的粗動(dòng)定位。
上層精動(dòng)定
3、位工作臺(tái)將以壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器為驅(qū)動(dòng)裝置,壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器的信號(hào)采集處理電路為反饋裝置,搭建高精度定位工作臺(tái)。利用壓電陶瓷的逆壓電效應(yīng),可將輸入的位移信號(hào)轉(zhuǎn)化為相應(yīng)的實(shí)際位移,壓電陶瓷位移精度往往較高,為系統(tǒng)定位精度提供了基礎(chǔ)。將位移信號(hào)傳輸給壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器,產(chǎn)生相應(yīng)的實(shí)際位移,再由信號(hào)采集處理電路對(duì)其位移實(shí)際量進(jìn)行檢測(cè)并進(jìn)行反饋,反饋信號(hào)再重新輸入給壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器,直到達(dá)到設(shè)定位移相同,定位工作臺(tái)停止工作。從而精動(dòng)定位平臺(tái)實(shí)現(xiàn)可高精度的位移
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