基于SOI的環(huán)形諧振腔生物傳感器研究.pdf

1、回顧改革開放近四十年，中國(guó)以前所未有的速度進(jìn)行著工業(yè)化和城市化，所取得的成就舉世矚目。但是隨之而來(lái)的問(wèn)題也很多:環(huán)境污染、食品安全以及新型疾病等。為了應(yīng)對(duì)這些問(wèn)題，發(fā)展快速高效低成本的生物傳感器已經(jīng)是刻不容緩了?；赟OI的光波導(dǎo)生物傳感器以其卓越的優(yōu)點(diǎn)在這些領(lǐng)域，有著非常廣闊的應(yīng)用前景。本文主要研究基于環(huán)形諧振腔的傳感器，對(duì)其性能進(jìn)行了優(yōu)化，采用分子印跡的方法實(shí)現(xiàn)對(duì)生物大分子的檢測(cè)。
　　本文首先對(duì)環(huán)形諧振腔的材料平臺(tái)、基本原理

2、以及性能參數(shù)進(jìn)行了介紹。對(duì)基于游標(biāo)效應(yīng)的雙環(huán)諧振腔傳感器的原理和性能進(jìn)行了分析。
　　接著詳細(xì)的介紹了環(huán)形諧振腔傳感器的制作工藝和設(shè)備，并完成環(huán)形諧振腔與微流通道和陣列光纖的集成與封裝。
　　然后對(duì)環(huán)形諧振腔的基本性能參數(shù)進(jìn)行了優(yōu)化，包括測(cè)試范圍和品質(zhì)因子。采用三個(gè)環(huán)形諧振腔的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，在級(jí)聯(lián)雙環(huán)諧振腔傳感器的基礎(chǔ)上把測(cè)試范圍擴(kuò)大了26倍。增加環(huán)形諧振腔波導(dǎo)的寬度，提高環(huán)形諧振腔的品質(zhì)，最高達(dá)到了6×10^5。
　　最