聲光可調(diào)諧濾波器的加工工藝研究.pdf

1、光譜成像技術(shù)兼?zhèn)淇臻g分辨能力和光譜分辨能力，同時也將圖像分析技術(shù)和光譜分析技術(shù)緊密聯(lián)系起來。近幾年，光譜成像技術(shù)在軍事偵察、農(nóng)業(yè)生產(chǎn)、前沿醫(yī)學(xué)等的應(yīng)用遠(yuǎn)景得到了許多研究學(xué)者的青睞。
　　聲光可調(diào)諧濾波器（Acousto-optic tunable filter，簡稱AOTF）是一種新型分光元件，目前基于聲光可調(diào)諧濾波技術(shù)的光譜成像研究還處于不斷摸索中，我國在該方面的研究較晚，也沒有進(jìn)入實際應(yīng)用階段，仍要進(jìn)行大量的研究，結(jié)合科技部國

2、際科技合作項目要求，本文以聲光可調(diào)諧濾波器的加工工藝技術(shù)作為主要研究對象，開展了相關(guān)研究。首先，結(jié)合項目的器件性能參數(shù)指標(biāo)和要求，確定壓電換能器的切型(X切LiNiO3)，并用COMSOL軟件對其進(jìn)行厚度切變振動模式的仿真；研究分析制作AOTF的工藝?yán)碚撟鳛榛A(chǔ)，利用UNIPOL-802平面研磨拋光機(jī)對壓電晶體進(jìn)行研磨拋光研究，反復(fù)實驗，找出滿足技術(shù)要求的化學(xué)機(jī)械研磨拋光(CMP)工藝方案；確定壓電層的厚度(16μm)、鍵合膜的結(jié)構(gòu)類型

3、(雙層增透膜)和厚度參數(shù)，鑒于鍵合膜層材料的種類和厚度均不相同，并且根據(jù)膜層特性，確定真空鍍膜的方式和工藝條件，實驗得到真空鍍鉻、鍍金、鍍銦的工藝參數(shù)。
　　由于壓電層特別薄而且對厚度誤差要求較高，真空壓合后形狀比較特殊，不能進(jìn)行直接減薄，針對此問題，提出并設(shè)計了一種用于晶體化學(xué)機(jī)械研磨減薄的夾具和方法，經(jīng)該結(jié)構(gòu)和方法進(jìn)行校準(zhǔn)減薄后的壓電晶體厚度16.055μm，厚度誤差0.734μm。經(jīng)過該套工藝參數(shù)得到的實驗結(jié)果滿足項目的需求