微F-P腔可調(diào)諧濾波器的研究.pdf

1、微Fabry-Perot腔可調(diào)諧濾波器在超光譜成像、密集波分復(fù)用的光通信系統(tǒng)中有廣泛的應(yīng)用前景。它克服了傳統(tǒng)濾波器體積大、功耗高、價(jià)格昂貴等缺點(diǎn),具有調(diào)制速度快、光譜調(diào)節(jié)范圍大、精度高、穩(wěn)定性好等優(yōu)點(diǎn)。隨著微加工技術(shù)、微結(jié)構(gòu)技術(shù)的采用,微Fabry-Perot腔可調(diào)諧濾波器有了新的發(fā)展方向。采用微加工技術(shù)將硅薄片鍍上金屬,制成采用靜電力驅(qū)動(dòng)的微F-P腔可調(diào)諧濾波器,實(shí)現(xiàn)光束濾波功能。
　　本文著重從基于硅基片上的微F-P腔可調(diào)諧濾

2、波器陣列的理論、結(jié)構(gòu)模擬和制作工藝方面開(kāi)展工作,主要內(nèi)容包括:
　　(1)從光學(xué)角度分析了微F-P腔的工作原理,根據(jù)設(shè)計(jì)要求計(jì)算F-P腔光學(xué)薄膜的光學(xué)參數(shù),設(shè)計(jì)了5層結(jié)構(gòu)的Ge/ZnS光學(xué)膜系,在3~5μm工作波長(zhǎng)內(nèi)達(dá)到反射率80％的要求;
　　(2)提出了四種典型的F-P腔支撐結(jié)構(gòu),在結(jié)構(gòu)與電場(chǎng)的耦合場(chǎng)中采用有限元方法分別分析了四種結(jié)構(gòu)的電壓-位移關(guān)系、位移對(duì)平行度的影響,通過(guò)比較為濾波器支撐結(jié)構(gòu)的優(yōu)化設(shè)計(jì)提供理論基礎(chǔ);<