基于激光波數(shù)間斷掃描干涉測量系統(tǒng)的研制及曲面輪廓三維測量.pdf

1、在復(fù)合材料檢測和超高精度加工領(lǐng)域，曲面三維輪廓測量技術(shù)被越來越多的科研工作者所重視，占據(jù)的地位也越來越重要。在這種超高精度的測量技術(shù)領(lǐng)域通常使用的技術(shù)都是基于激光干涉檢測原理的測量技術(shù)。激光波數(shù)掃描干涉測量技術(shù)是檢測被測樣件的曲面三維輪廓的激光干測量的方法之一，也是目前檢測領(lǐng)域的重要發(fā)展方向。在激光波數(shù)掃描干涉測量時，主要是靠激光控制器調(diào)制激光二極管發(fā)出一束頻率穩(wěn)定的激光，通過調(diào)制激光，來達(dá)到波數(shù)掃描的目的。但是在調(diào)制激光器的時候，激光

2、二極管由于自身硬件的原因，極容易產(chǎn)生模跳的問題，而激光波數(shù)掃描干涉測量技術(shù)是檢測領(lǐng)域的一種超高精度測量技術(shù)，測量精度可以達(dá)到納米級別，所以這種模跳問題是致命的，嚴(yán)重影響測量的精度。與此同時，CCD相機(jī)成像時，若使用普通的鏡頭，也有可能使拍攝的干涉圖像產(chǎn)生畸變，也對此實(shí)驗(yàn)精度產(chǎn)生較大影響。所以針對于上述的問題，本文主要使用下述方法對問題進(jìn)行解決：
　　（1）在常規(guī)的基于激光波數(shù)掃描干涉測量儀的基礎(chǔ)上，設(shè)計(jì)一套基于激光斷續(xù)波數(shù)掃描干涉