微小器件裝配系統(tǒng)的高精度控制技術研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、隨著微納米技術的成熟,越來越多的精密型微小器件被生產和制造出來。對于這些精密、易損的微小器件來說,精密裝配已經不是手工裝配所能完成的任務,因此,對于精密型微小器件的裝配系統(tǒng)已逐漸成為業(yè)界關注的焦點。本文針對真空吸附式的微小器件裝配系統(tǒng),主要研究內容如下:
  首先,研究了微小器件裝配系統(tǒng)的總體技術,各個系統(tǒng)功能的構成以及相互之間的協(xié)作關系,并提出了相應的提高系統(tǒng)裝配精度的裝配方法,然后對整個裝配系統(tǒng)的高精度進行分析。
  其

2、次,對微小器件裝配系統(tǒng)的運動坐標軸進行了X、Y坐標軸的定位精度研究,并通過誤差補償的方式提高系統(tǒng)的運動精度。對XY軸插補運動進行了研究和實驗,并進行了XY的角度補償,明顯提高了系統(tǒng)精度。分析了兩種運動形式的精度,并選擇了最優(yōu)路徑法,達到高精度控制作用。由于在微小器件裝配過程中,微小件對外界環(huán)境具有很強的敏感性,容易產生零件的微小竄動,為了提高微小器件裝配系統(tǒng)的魯棒性,本文針對微小零件在運行過程中產生的相對夾持器的錯位進行分析,并提出了相

3、應的優(yōu)化方法。
  再次,由于微小器件裝配的過程,需要借助數字圖像處理技術來輔助裝配,為了使系統(tǒng)達到更高的識別精度和特征提取精度,首先對視覺系統(tǒng)的核心部件相機的外參數進行了矯正,并提出了一種基于模板面積的二分法來自動選取閾值的方法,該方法與傳統(tǒng)的閾值自動選取方法相比,能夠達到更高的識別和特征提取精度,并對提取的器件特征開發(fā)了最佳平衡點的特征定位方式,使裝配系統(tǒng)精度滿足微米級裝配的要求。
  最后,介紹了微小器件裝配的裝配精度

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