基于光學(xué)倍程的納米位移計(jì)量系統(tǒng)的研究.pdf_第1頁(yè)
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1、納米位移計(jì)量以高精度以及高分辨率的位移測(cè)量為特點(diǎn)，通常精度和分辨率越高的儀器其結(jié)構(gòu)及成本更加復(fù)雜，實(shí)現(xiàn)困難，針對(duì)該情況，本論文采用光學(xué)倍程的方法，結(jié)合激光干涉技術(shù)，從信號(hào)源上提高系統(tǒng)的測(cè)量分辨率，最終提高測(cè)量精度。本文的主要工作如下：
　?。?）研究了干涉測(cè)量理論，并采用光學(xué)倍程的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)了納米位移傳感器的光路結(jié)構(gòu)，包括光路的調(diào)整裝置。該光路結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，成本低，且容易實(shí)現(xiàn)，并在此基礎(chǔ)上對(duì)倍光程后的干涉條紋信號(hào)對(duì)比度以及頻率和幅值進(jìn)行

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