基于位移傳感器的像差檢測(cè)光學(xué)系統(tǒng)的研究.pdf_第1頁(yè)
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1、傳統(tǒng)的光學(xué)系統(tǒng)對(duì)于幾何像差的檢測(cè)通常采用星點(diǎn)法、哈特曼法或刀口陰影法等，其測(cè)量結(jié)果受人為主觀因素影響較大、精度不高。為滿足光學(xué)系統(tǒng)測(cè)量像差的精度要求，本系統(tǒng)在傳統(tǒng)的哈特曼(Hartmann)檢測(cè)方法基礎(chǔ)上，引入光柵尺位移傳感器，結(jié)合高分辨率CCD作為光電接收裝置，經(jīng)自動(dòng)對(duì)焦和圖像處理，由計(jì)算機(jī)直接給出測(cè)量結(jié)果，消除了人為因素影響，提高了測(cè)量準(zhǔn)確度，操作簡(jiǎn)易。與傳統(tǒng)測(cè)量方法相比，降低了測(cè)量誤差，并提高工作了效率。
　　本文主要是針對(duì)

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