能量過濾磁控濺射技術制備TiO2薄膜及其光催化性能研究.pdf

1、TiO2是一種典型的光催化材料，在紫外光照射下可有效地將有機污染物降解為CO2、H2等小分子，從而達到處理有機污染物的目的，這被認為是解決環(huán)境污染和能源危機的有效途徑之一。TiO2薄膜以其良好的化學穩(wěn)定性、抗磨損性、低成本、無毒、易制備等特點在光催化、自清潔玻璃、太陽能電池等領域得到光泛應用。在TiO2薄膜的眾多制備方法中，直流磁控濺射(DMS)技術具有可控性好、濺射速率快且制備的TiO2薄膜具有很好的光學性能等優(yōu)點而得到廣泛應用。研究

2、表明,晶體類型、晶粒尺寸、比表面積大小等是影響TiO2光催化效率的重要因素。本課題組自主研發(fā)的能量過濾磁控濺射(EFMS)技術，可有效減小薄膜晶粒尺寸，改善薄膜的均勻性，增大比表面積，提高薄膜質量。本文利用EFMS技術制備了TiO2薄膜，研究了薄膜的結構特性、光學特性和光催化性能。具體研究內容包括：
　　(1)首先采用DMS技術制備TiO2薄膜，研究了沉積溫度、壓強、時間、氧氬流量比等制備條件對TiO2薄膜的結構、表面形貌、光學性

3、能及光催化性能影響。薄膜光催化效率改善是通過控制變量法優(yōu)化制備條件來獲得的。研究發(fā)現當沉積時間1h、溫度為250℃、氧氬流量比為1:5、壓強為1Pa時制備的TiO2薄膜具有最優(yōu)的光催化性能。
　　(2)采用EFMS和DMS技術分別制備TiO2薄膜，比較研究發(fā)現EFMS技術能有效改善TiO2薄膜的質量，較DMS技術所制備的TiO2薄膜的晶粒尺寸更小，表面更加均勻，折射率較高，光催化性能更好。
　　(3)利用EFMS和DMS技術