高氣壓等離子體微波共振探針的優(yōu)化研究.pdf

1、本文主要通過(guò)模擬與實(shí)驗(yàn)兩種方法將微波共振探針的品質(zhì)因子Q有效的提升。模擬中，對(duì)品質(zhì)因子Q的主要從儲(chǔ)能與損耗的能量?jī)蓚€(gè)方面進(jìn)行分析，對(duì)其中U型探針與耦合線(xiàn)圈的幾何結(jié)構(gòu)進(jìn)行優(yōu)化，改變U型探針與耦合線(xiàn)圈的位置，增加二者之間的耦合。最后使用優(yōu)化后的U型探針與耦合線(xiàn)圈對(duì)高氣壓等離子體射流進(jìn)行診斷。
　　首先，對(duì)微波共振探針的幾何結(jié)構(gòu)進(jìn)行優(yōu)化。改變探針的臂長(zhǎng)，臂間距，以及制作探針的金屬線(xiàn)直徑，計(jì)算具有不同幾何結(jié)構(gòu)的探針的品質(zhì)因子；改變耦合線(xiàn)圈

2、的匝數(shù)、半徑和制作耦合線(xiàn)圈的金屬線(xiàn)直徑，計(jì)算不同幾何結(jié)構(gòu)的耦合線(xiàn)圈的品質(zhì)因子。確定品質(zhì)因子Q最大的U型探針與耦合線(xiàn)圈的幾何結(jié)構(gòu)，并采取該結(jié)構(gòu)進(jìn)行后續(xù)的診斷。
　　然后，改變U型探針與耦合線(xiàn)圈的擺放位置，橫向與縱向相對(duì)位置。通過(guò)改變二者的相對(duì)位置，應(yīng)用品質(zhì)因子Q分析不同位置處的耦合情況的好壞，確定品質(zhì)因子Q最大時(shí)，二者的最佳橫向與縱向相對(duì)位置。
　　在研究U型探針與耦合線(xiàn)圈的最佳相對(duì)位置時(shí)，本文提出了添加屏蔽的方法來(lái)降低U型探