面向微裝配的自動化聲操縱理論與實踐研究.pdf

1、由于微機電系統(tǒng)具有尺寸微型、結(jié)構緊湊和功能豐富等特點，在國民經(jīng)濟、國防建設和高新技術等相關領域得到了廣泛地應用，逐漸成為了二十一世紀最重要的經(jīng)濟增長點之一，蘊涵著巨大的市場潛力。經(jīng)歷近半個多世紀的持續(xù)發(fā)展，微機電系統(tǒng)已經(jīng)從原先注重單元微構件的生產(chǎn)向混合復雜系統(tǒng)的集成方向邁進，對微裝配技術的需求日益強烈。同時，面對微機電系統(tǒng)結(jié)構尺度的微型化、制造技術追求高深寬比的三維化以及制造工藝和材料的多樣化等所帶來的諸多挑戰(zhàn)，微裝配技術更加體現(xiàn)出其重

2、要性和迫切性，并表現(xiàn)出與宏觀裝配手段明顯不同的技術特點。因此，探索新理論、新機理并發(fā)展這種技術，是目前微機電系統(tǒng)這個新興技術領域內(nèi)一個最基礎的、關鍵的熱點研究課題?；谝陨媳尘埃緦W位論文結(jié)合浙江省自然科學基金重點項目“基于聲操縱的三維自動微裝配理論與實踐研究(No.Z1110393)”及國家自然科學基金項目“基于超聲輻射力場的三維生物組織直寫式制造關鍵技術研究(No.51205351)”等，開展面向微裝配的自動化聲操縱理論與實踐研究。

3、在系統(tǒng)了解微裝配和聲操縱相關技術研究現(xiàn)狀及其發(fā)展趨勢的基礎上，建立了基于T矩陣的任意聲場下非規(guī)則微構件聲輻射力及力矩計算理論，提出和優(yōu)化實現(xiàn)了基于聲波相位調(diào)整的微構件高效聲輸運，基于聲波幅值調(diào)整的微構件姿態(tài)無級控制聲操縱以及基于多聲參數(shù)聯(lián)合調(diào)整的復合聲操縱等關鍵技術。同時，還利用顯微視覺技術實現(xiàn)了微構件的識別和跟蹤，并將Look and Move閉環(huán)控制策略與上述聲操縱技術有機結(jié)合，創(chuàng)新實現(xiàn)了一種基于視覺反饋的自動化聲操縱技術，為微裝配

4、技術的發(fā)展奠定必要的技術基礎。具體研究內(nèi)容和創(chuàng)新點體現(xiàn)在:
　　第一章，系統(tǒng)闡述微裝配技術研究的重要意義以及聲操縱技術在微裝配中應用的優(yōu)越性，全面分析微裝配和聲操縱相關技術研究現(xiàn)狀及其發(fā)展趨勢，明確聲操縱理論、技術和相關應用所存在的問題及急待克服的技術瓶頸，為本文的研究指明了方向，并對各章節(jié)的研究內(nèi)容進行了安排。
　　第二章，建立了基于T矩陣的任意聲場下非規(guī)則微構件聲輻射力及力矩計算理論。在利用T矩陣理論完成任意聲場下非規(guī)則

5、微構件散射聲場計算的基礎上，推導得到基于散射聲場轉(zhuǎn)移矩陣和二維積分矩陣的聲輻射力及力矩理論表達式，能針對微裝配過程中微構件位姿動態(tài)變化的特點，僅需一次矩陣參數(shù)計算就能確定整個過程中的聲輻射力及力矩，大幅度提高計算效率，為后續(xù)研究奠定必要的理論基礎。
　　第三章，提出了一種基于聲波相位調(diào)整的微構件高效聲輸運技術。通過改變?nèi)肷渎暡ㄏ辔黄撇介L及其偏移速度，動態(tài)調(diào)整聲勢阱空間位置以約束微構件處于聲勢阱最優(yōu)偏移范圍內(nèi)，確保微構件始終受到幅

6、值恒定且方向與輸運方向一致的驅(qū)動力作用，解決微構件聲輸運過程中因驅(qū)動力不穩(wěn)定所引起輸運效率低下的問題。同時，以鋯球為對象進行聲輸運實驗研究，最高可靠輸運速度可達29毫米/每秒，明顯提高輸運效率。
　　第四章，提出了一種基于聲波幅值調(diào)整的微構件姿態(tài)無級控制聲操縱技術。在建立入射聲波幅值與聲勢阱取向之間定量關系的基礎上，通過調(diào)整入射聲波相對幅值參數(shù)，精確控制聲勢阱取向的變化，從而賦予俘獲于聲勢阱內(nèi)微構件相應的旋轉(zhuǎn)力矩，驅(qū)動其發(fā)生姿態(tài)改

7、變，達到微構件姿態(tài)無級控制的目的。同時，對長條形硅基微構件進行實驗研究，證實該技術對于非球?qū)ΨQ構件具有360°范圍內(nèi)的姿態(tài)無級控制能力。
　　第五章，提出了一種基于多聲參數(shù)調(diào)整的復合聲操縱技術。聯(lián)合調(diào)整入射聲波的幅值和相位，通過構建半空間內(nèi)三維駐波聲場柔性合成不同性能的聲勢阱，實現(xiàn)了包括抓取、輸運、姿態(tài)調(diào)整以及釋放等多種功能一體化的復合聲操縱。同時，以硅基微顆粒為對象進行實驗研究，驗證該技術的可行性和有效性。
　　第六章，發(fā)

8、展了一種基于顯微視覺的微構件識別與跟蹤技術。在利用離散余弦變換對焦評價函數(shù)和自組織特征映射神經(jīng)網(wǎng)絡準焦搜索算法完成顯微視覺自動對焦的基礎上，應用粒子濾波算法實現(xiàn)多尺度視野的微構件目標逐級定位，并結(jié)合基于最小外接四邊形法的位姿識別方法，實現(xiàn)微構件的識別與跟蹤。
　　第七章，在利用顯微視覺實現(xiàn)微構件識別與跟蹤的基礎上，將Look and Move聲參數(shù)閉環(huán)控制策略與上述聲操縱相關技術有機結(jié)合，創(chuàng)新實現(xiàn)了一種基于視覺反饋的自動化聲操縱技