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文檔簡介
1、隨著網(wǎng)絡(luò)通信的快速發(fā)展，基于集成電路的傳統(tǒng)互連方式在距離、速度以及功耗等方面都面臨巨大的挑戰(zhàn)。為了突破“電子瓶頸”的限制，人們需要尋求一種新的信息載體，光子憑借其天然的優(yōu)勢成為首選。隨著光子技術(shù)的發(fā)展，代替電子計算機的光子計算機不再遙不可及。而光子晶體管是光子計算機的重要組件，是光子計算機運算能力的象征。它是可以用一束光控制另一束光的光學(xué)器件，與電子晶體管相比，具有運算速率高、功耗低、體積小等優(yōu)點。另一方面，隨著集成光路的發(fā)展，光子計算
2、機的實現(xiàn)和大規(guī)模集成化成為人們追求的目標(biāo)。硅基集成芯片易與傳統(tǒng)互補金屬氧化物半導(dǎo)體(Complementary Metal-Oxide-Semiconductor, CMOS)工藝兼容、原材料豐富、成本低廉等優(yōu)點，使其成為今后集成化發(fā)展的首選平臺。研究基于硅基器件的光晶體管具有十分重要的意義。此外，隨著光力的發(fā)現(xiàn)和理論的進一步完善，在集成光子回路中引入光梯度力，可以使得片上集成光學(xué)器件工作在新的機理下。
本論文主要研究基于絕緣
3、體上硅(Silicon-on-isolator, SOI)的馬赫-曾德爾干涉儀(Mach-Zehnder interferometer, MZI)和微環(huán)諧振腔(Microring resonator, MRR)的光機械晶體管。本論文的主要內(nèi)容可以概括為以下幾點：
(1)介紹了光晶體管的研究背景、硅基集成器件的發(fā)展、光晶體管的國內(nèi)外研究進展。
(2)分析了光力分類、光梯度力的計算和增強方法、常用光梯度力結(jié)構(gòu)介紹。光力根
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