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文檔簡介
1、在高精密加工或測量設(shè)備中,準直測量是直線度、垂直度、同軸度等幾何參數(shù)與形位誤差測量的基礎(chǔ),然而,準直光束會受到諸多因素影響,發(fā)生漂移,嚴重限制系統(tǒng)的測量精度。如何減小光線漂移的影響,提高系統(tǒng)穩(wěn)定性,一直是重點研究問題。
本論文以半導(dǎo)體激光器(Laser Diode,LD)作為比較對象,對非激光光源超輻射發(fā)光二極管(Superluminescent Diode,SLD)和發(fā)光二極管(white Light Emitting Di
2、ode,w-LED)在準直測量方面進行了較為系統(tǒng)的研究。首先,本論文研究了三種光源的發(fā)光原理與輸出特性,并對三種光源的不同點進行了分析與比較。其次,先后進行了基于SLD和LD準直測量和基于白光LED和LD準直測量的比較研究。
本文主要研究內(nèi)容與結(jié)果如下:
1)通過SLD和LD準直光束的穩(wěn)定性比較實驗,發(fā)現(xiàn)在功率穩(wěn)定性上,LD在使用過程中功率會因激光器內(nèi)部溫度升高而發(fā)生變化,而SLD功率可長時間保持穩(wěn)定。在定位穩(wěn)定性上
3、,SLD的穩(wěn)定性略優(yōu)于LD,但二者存在差異較小。綜合考慮到SLD成本高、體積大的缺點,和LD比較下,SLD用于準直測量時沒有明顯優(yōu)勢。
2)通過白光LED和LD準直光束的穩(wěn)定性比較實驗,發(fā)現(xiàn)在功率穩(wěn)定性方面,LD開機后需要預(yù)熱才能使用,長時間工作時功率會發(fā)生變化,而白光LED開機后可長時間保持穩(wěn)定。在定位穩(wěn)定性方面,由白光LED作為熱源引起系統(tǒng)結(jié)構(gòu)形變導(dǎo)致光線漂移的程度明顯小于LD。在空氣擾動影響上,對于同等程度的空氣擾動,白
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