納米三坐標(biāo)測量機(jī)軟件開發(fā)及其應(yīng)用.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、本論文基于C++ Builder6.0開發(fā)環(huán)境開發(fā)了納米三坐標(biāo)測量機(jī)(nano-CMM)軟件系統(tǒng)，主要程序模塊如下:
　　(1)開發(fā)了探頭及位置傳感器的信號處理程序，探頭傳感器由一個邁克耳遜干涉儀和一個自準(zhǔn)直儀組成。程序部分包括信號采集與預(yù)處理、干涉儀信號的計數(shù)與相位細(xì)分、角度傳感器的信號轉(zhuǎn)換。傳感器中干涉儀分辨率可達(dá)1nm，角度測量分辨率達(dá)0.1角秒。
　　(2)開發(fā)了基于BPNN-PID(Back Propagation

2、 Neural Network PID)控制器的納米閉環(huán)定位控制軟件，該算法使用BPNN網(wǎng)絡(luò)來自動給出PID參數(shù);搭配HR4馬達(dá)提供的三種不同速度和分辨率的驅(qū)動模式(ACMode，Gate Mode，DC Mode)，可實現(xiàn)啟動時無速度過沖、中間勻速、最后精準(zhǔn)定位至納米級的定位控制。實驗表明補(bǔ)償系統(tǒng)誤差后，在20mm的行程內(nèi)可實現(xiàn)20nm的定位精度。
　　(3)探頭二次觸發(fā)控制與觸發(fā)點擬合程序的開發(fā)。第一次觸發(fā)可快速找到觸發(fā)點的大

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