透射光譜法測(cè)量薄膜參數(shù)的研究.pdf_第1頁(yè)
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文檔簡(jiǎn)介

1、該論文就透射光譜法測(cè)量薄膜的參數(shù)進(jìn)行了較為詳細(xì)、系統(tǒng)地研究.用極其簡(jiǎn)單的形式給出了經(jīng)電磁理論嚴(yán)格推導(dǎo)出來(lái)的透射率公式,該公式包含了影響透射光譜的大部分薄膜和基底的參數(shù).提出了一種用透射光譜和模擬退火算法一次性同時(shí)確定薄膜多個(gè)參數(shù)的新方法,該方法是根據(jù)所測(cè)的光譜數(shù)據(jù),通過(guò)解聯(lián)立方程組來(lái)反演計(jì)算出薄膜參數(shù)的.一方面,它很好地解決了解的多值性問(wèn)題;另一方面,它不依賴(lài)于干涉條紋及透明區(qū)的存在,可以利用所有的光譜測(cè)量數(shù)據(jù),因而適合于處理各種不同的

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