透射光譜法測量薄膜參數(shù)的研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、該論文就透射光譜法測量薄膜的參數(shù)進行了較為詳細、系統(tǒng)地研究.用極其簡單的形式給出了經(jīng)電磁理論嚴格推導出來的透射率公式,該公式包含了影響透射光譜的大部分薄膜和基底的參數(shù).提出了一種用透射光譜和模擬退火算法一次性同時確定薄膜多個參數(shù)的新方法,該方法是根據(jù)所測的光譜數(shù)據(jù),通過解聯(lián)立方程組來反演計算出薄膜參數(shù)的.一方面,它很好地解決了解的多值性問題;另一方面,它不依賴于干涉條紋及透明區(qū)的存在,可以利用所有的光譜測量數(shù)據(jù),因而適合于處理各種不同的

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