激光陀螺反射鏡基片相關(guān)檢測(cè)技術(shù)研究.pdf

1、超低損耗反射鏡足影響激光陀螺性能的關(guān)鍵元件之一，為了實(shí)現(xiàn)反射鏡的低損耗，首先要加工出具有超光滑表面的反射鏡基片。超光滑表面的檢測(cè)與評(píng)價(jià)技術(shù)在工藝技術(shù)中的作用越來越突出和重要。反射鏡基片超光滑表面質(zhì)量檢測(cè)主要包括：表面輪廓檢測(cè)、表面疵病檢測(cè)、表面亞表層損傷檢測(cè)等三個(gè)方面。本文研究的重點(diǎn)是反射鏡基片表面輪廓檢測(cè)技術(shù)，主要包括以下兩個(gè)方面的內(nèi)容：
　　 ㈠反射鏡基片表面微觀形貌的檢測(cè)技術(shù)。研究空間波長(zhǎng)與表面微觀形貌的各種評(píng)價(jià)參數(shù)(如R

2、MS、PSD、波紋度等)的關(guān)系，并進(jìn)行表面粗糙度常用評(píng)價(jià)參數(shù)(RMS、PSD等)的適用性研究；同時(shí)對(duì)不同工藝方法所形成的表面微觀形貌特征進(jìn)行分析。
　　 ㈡球面反射鏡基片表面輪廓和曲率半徑檢測(cè)技術(shù)。在表面微觀形貌特征研究的基礎(chǔ)上分析球面鏡基片表面輪廓的特征，并探討了導(dǎo)致球面鏡基片曲率半徑測(cè)試前后不一致的主要原因。通過對(duì)大量超光滑反射鏡基片表面檢測(cè)參數(shù)的研究工作，得出如下結(jié)論：①針對(duì)反射鏡基片表面輪廓中面形、波紋度和粗糙度的空間波