1.315μm強激光反射鏡膜系設計與熱效應研究

1、河南師范大學碩士學位論文1.315μm強激光反射鏡膜系設計與熱效應研究姓名：崔金蘭申請學位級別：碩士專業(yè)：物理學·光學指導教師：彭玉峰201205A B S T R A C TT h eh i l g hr e f l e c t i v em e m b r a n ea p p r o p r i a t e f o rC O I Lw a s o b t a i n e du s i n gT F C A L E s i

2、 m u l a t i o nd e s i g ns o f t w a r e ，b a s e do n t h e d e s i g np r i n c i p l eo fh i g hr e f l e c t i v e m e m b r a n e ，t h et r a d i t i o n a ld e s i g nm e t h o do fq u a r t e r - w a v es t a c

3、ka d o p t e d ．T h e e l e c t r i cf i e l di n t e n s i t yd i s t r i b u t i o ni nt h em u l t i l a y e rf i l m su n d e rt h el a s e ri r r a d i a t i o nw a s g i v e n ．I nt h e c h e m i c a ll a s e r , t

4、 h er e f l e c t o rn e e d s r e f l e c t i o ni nm a n y w a v e l e n g t h s ．B e c a u s et h ei n f r a r e dl i g h ta t 1 ．13 5 p r o e m i t t e df r o m C O I L i s t u n e do rg u i d e db y v i s i b l e l

5、i g h t ，t h ed e s i g no f d o u b l es t a c k s w a s e m p l o y e d ．T h e h i i g h r e f l e c t i v e m e m b r a n e a p p r o p r i a t e f o r C O I Lw i t h t h e s t r u c t u r e o fS i ／( L H ) 1 0 ( 腳) ：

6、／A i rw a sd e s i g n e d o nt h e S is u b s t r a t e ，w i t hS i ，S i 0 2a sh i g ha n dl o w r e f r a c t i v e i n d e xm a t e r i a l s ，w h e r eH a n dLa r et h eh i ．g h r e f r a c t i v ei n d e xm e m b r

7、a n el a y e r ( S il a y e r ) ，l o wr e f r a c t i v e i n d e xl a y e r ( S i 0 2l a y e r ) a n dt h es t r u c t u r e ( 塒) ：o r e f e r st ot h e1 ．3 1 5 B ms t a c ka n dt h es t r u c t u r e ( 塒) ：r e f e r st

8、 ot h e 0 ．6 3 2 8 “r ns t a c k ．T h er e f l e c t i v i t yo f C O I L o nt h ec e n t e ro u t p u tw a v e l e n g t h 1 ．3 15 } t ma c h i e v e do v e r9 9 ．9 9 9 ％a c c o r d i n g t ot h e o r ys i m u l a t i o

9、 n ，w h i c hs a t i s f yt h en e e dt ot h em e g aw a t tc h e m i c a l l a s e rc a v i t ys u r f a c e m e d i u mm e m b r a n e ；T h e r e f l e c t i v i t yo f h a r m o n i c w a v e o nt h e w a v e l e n g

10、t hO ．6 3 2 8 B m a c h i e v e do v e r9 9 ．2 ％．w h i c he x c e e d s t h er e q u i r e m e n t t oh a r m o n i c w a v e r e f l e c t i v i t yo f 9 5 ％．H e a t i n ge f f e c th a sa l l i m p o r t a n te f f e c

11、 to nt h e s t r o n g l a s e rr e f l e c t o rp e r f o r m a n c e ．H e a tc o n d u c t i o nd i f f e r e n t i a le q u a t i o n si nd i f f e r e n tc o o r d i n a t e sa r ed e d u c e d b y h e a tt r a n s f

12、 e rt h e o r yk n o w l e d g e ．M a t h e m a t i ce x p r e s s i o n so f t h el a s e rd a m a g et h r e s h o l da n dt h et e m p e r a t u r e d i s t r i b u t i o no f m u l t i l a y e rm e m b r a n ew e r e

13、g o t ．G r e e n ’Sf u n c t i o n m e t h o d i s a p p l i e dt o c a l c u l a t et h es i l i c o ns u b s t r a t et e m p e r a t u r ed i s t r i b u t i o nu n d e r t h ei r r a d i a t i o no ft h e 1 ．315 B m

14、G a u s s i a nb e a m ．T h et e m p e r a t u r ef i e l dd i s t r i b u t i o nc u _ r v e su n d e rd i f f e r e n tt h el a s e re n e r g yG a u s s i a nw e r ed r a w n ．T h es i l i c o ns u b s t r a t et h e