紫外透明導(dǎo)電氧化鎵薄膜的制備及性能表征.pdf

1、浙江大學(xué)碩士學(xué)位論文紫外透明導(dǎo)電氧化鎵薄膜的制備及性能表征姓名：袁苑申請學(xué)位級別：碩士專業(yè)：材料物理與化學(xué)指導(dǎo)教師：季振國20060601浙江大學(xué)碩士學(xué)位論文 直流反應(yīng)磁控濺射法制備氧化鎵薄膜及性能表征A b s t r a c tW i t hm ed e V e l o p m e n to f s e m i c o n d u c t o ro p t o —e l e c t r i c t e c h n o l o g y

2、 ，w i d eb a n d 唱a pt r a n s p a r e n t c o n d u c t i v e o x i d e t l l i n f i l m s h a v e b e e no n e o ft h er e s e a r c h e d f o c u s i ns e m i c o n d u c t o r m a t e r i a l s n e l d s ．G a 王1 i u

3、 mo x i d e ( G a 2 0 3 ) ，a s a k i n d o f d i r e c t w i d eb a l l d g 印c o 玎1 p o u n ds e m i c o n d u c t o r m a 自州a l h a sk e n w j d e l yu s e d a s v 盯i o u s g a ss e n s o r s ，u l t r a V i o l e td e t

4、 e c t o r s ，l i q u i d c r y s t a l d i s p l a y ( L c D ) ，t I ’a n s p a T e n te l e c t I D d em a t e r i a l si nu l n 甜i o l e tp h o t o e l e c t r i c d e v i c e s a n d m a n y o t h e r f i e l d s ．I n

5、 Ⅱ1 i sp 印e r ，t h e 、Ⅳi d e l y u s e dT C O sw e r er e v i e w e d ；t l l e p m p e r t i e sa n dg r o w 山t e c h n i q u e so f t h eG a 2 0 3t 1 1 i n f i j m sa 1 1 dm a n ya p p l i c a t i o n s i n t h em o d e

6、 m t e c h n o I o g y、v e r e d i s c u s s e d ．U s i n g t t l e s p e c i a l t a 唱e t h o l d i n gm o d e l s d e s i g n e d b ym y s e l v e s ，t h eG a 2 0 3t h i n f i l m sw e r e p r e p a r e db yd i r e c t

7、 c u r r e n tr e a c t i V em a g n e t r o ns p u t t e r i n g a l l dl i q u i dg a l l i 啪t a r g e t ．T h ec r y s t a l l i n e 鋤d o p t i c a l p r o p e r t i e s o ft h eG a 2 0 3t l l i n f i l mi n n u e n c

8、e db yo x y g e n n u x ，s u b s t r a t et e m p e r a t u r ea n dd i 丘b r e n to x i d em e t h o d sw e r es t u d i e d ．T h ep m p e m e s o f t h ef i l m sa n d t h ee 虢c t so f g r o w t hp a r 跚e t e r so nq u

9、a I i t yo ft l l e G a 2 0 36 l m sw e r es t u d i e du s i n gX - r a yd i 缶a c t i o n ，U v - Ⅵss p e c t r o p h o t o m e t e r ，S E Mt e c h n i q u e s ，i n 行a r e dS p e c t r o p h o t o m e t e r ，e t c ．F u r

10、 t h e r m o r e ，t h e p r o b a b l y o ft h e t i n d o p e d G a 2 0 3f i l m s u s e d a s u l t I a v i o l e tt r a n s p a r e n te l e c t r o d e sw a ss t u d i e d ．F i r s t l y ，T h er e s u l t o f m e f i

11、 r s t p r i n c i p l ec a l c u l a t i o ns h o w e dt h a t S n d o p e d G a 2 0 3n l m sw e r e n - t y p ec o n d u c t i v i t y ，t h e s u b s t i t u t e d S n i nG a 2 0 3 i sd o n o L B a s e d o nt h ep r i

12、n c i p l e 肌t i c i p a t i o n ，t h eG a x S n l 一。0n l m sw e r ep r e p a r e du s i n g t h ed o u b l e - t a r g e t sm a g n e t r o n s p u t t e r i n g ．T h e d i f I ’e r e n td o p a n tc o n c e n 訂a t i o

13、n sw e r ea c h i e V e db y a l t e r i n gt t l e s p u t t e r i n gt i m e o f t i n t og a l l i 眥．T h er e s u l t ss h o w e dt h a tt h ec r y s t a l l i n ew a sb e t t e r a n d t l l eb a n d —g a po f f i l

14、m sw a sr e d u c 訪gw i t l lt h eS ni n c r e a s e d ．1 1 1 ee l e c t r i c i t yp r o p e n y m e a s u r e m e n t s h o w e d m a t 血eG a x S n l ．x Of i l mw a s n —t y p ec o n d u c t i v i t ya n d t l l er e s

15、 i s t i v i 哆o f G a x S n l - x O f i l mw a sa b o u t2 ．5 ×1 O ’Oc m ，w 1 1 i c hV a l i d a t e d t h er e s u l t so f t h ef i r s tp r i n c i p l e c a l c u l a t i o n ，B e s i d e s ，t h ec r y s t a l l

16、 i 礬o f 6 1 m sp r e p a r e db yt h e m l a lo x i d a t i o nw e r eb e _ [ t e r t h a no x i d a t i o nd 嘶n gr e a c t i V eS p u n e r i n g ．T h e G a 2 0 ] f i l m sd 叩e dS nw a Sn - t y p e c o n d u c t i V 姆，w

17、 h j c h i sh o p e f h l u s e di ns e m i c o n d u c t o r u l t m V i o l e tp h o t o e l e c 伍c d e v i c e s ．K 剛V o r d s ：G a 2 0 3f i l H l s ；D Cr e a c t i V em a g n e t r o n s p u t t e r i n g ；G a 2 0 3n