離子注入雜質(zhì)在氧化物晶體中的行為研究.pdf

1、在大量研究的各種色心中，了解最徹底的為α-Al2O3晶體中的F心和F+心；對(duì)α-Al2O3的離子注入摻雜研究中，主要是用各種金屬單質(zhì)離子，采用化合物離子尚未見報(bào)道。本論文采用化合物離子CuCl+注入α-Al2O3，研究由此引起的色心行為，并對(duì)退火后的樣品進(jìn)行了SEM表面觀察。主要工作和結(jié)果包括： 1.采用分子離子CuCl+離子注入α-Al2O3單晶，通過吸收譜以及熒光譜的測(cè)量，結(jié)果發(fā)現(xiàn)不同晶向的α-Al2O3晶體在不同注入條件下在

2、高能端均有強(qiáng)烈的吸收。對(duì)吸收譜進(jìn)行了高斯擬合以及熒光譜的分析確認(rèn)，CuCl+離子注入α-Al2O3晶體產(chǎn)生的色心缺陷主要是陰離子色心，如F心、F+心、F2心、F2+心以及F2+2心。 2.對(duì)注入后的試樣在還原氣氛下退火，對(duì)退火后的樣品進(jìn)行了光吸收譜及熒光譜的測(cè)量。結(jié)果發(fā)現(xiàn)與退火前相比，其吸收強(qiáng)度有不同程度的下降。證明了相應(yīng)的色心數(shù)目因退火而減少了。我們還發(fā)現(xiàn)色心的減少很大程度取決于注入條件、晶向和退火溫度。 3.對(duì)CuCl+