離子注入雜質在氧化物晶體中的行為研究.pdf

1、在大量研究的各種色心中，了解最徹底的為α-Al2O3晶體中的F心和F+心；對α-Al2O3的離子注入摻雜研究中，主要是用各種金屬單質離子，采用化合物離子尚未見報道。本論文采用化合物離子CuCl+注入α-Al2O3，研究由此引起的色心行為，并對退火后的樣品進行了SEM表面觀察。主要工作和結果包括： 1.采用分子離子CuCl+離子注入α-Al2O3單晶，通過吸收譜以及熒光譜的測量，結果發(fā)現(xiàn)不同晶向的α-Al2O3晶體在不同注入條件下在

2、高能端均有強烈的吸收。對吸收譜進行了高斯擬合以及熒光譜的分析確認，CuCl+離子注入α-Al2O3晶體產生的色心缺陷主要是陰離子色心，如F心、F+心、F2心、F2+心以及F2+2心。 2.對注入后的試樣在還原氣氛下退火，對退火后的樣品進行了光吸收譜及熒光譜的測量。結果發(fā)現(xiàn)與退火前相比，其吸收強度有不同程度的下降。證明了相應的色心數(shù)目因退火而減少了。我們還發(fā)現(xiàn)色心的減少很大程度取決于注入條件、晶向和退火溫度。 3.對CuCl+