溶膠凝膠法制備納米TiO-,2-薄膜及其特性研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、本實驗首先采用溶膠一凝膠法制備出TiO<,2>溶膠,進而利用旋涂法在玻璃基片上成功制備出純納米TiO<,2>薄膜和摻雜Ce的納米TiO<,2>薄膜,并且從溶膠組成,溶劑,水量等多方面分析了它們對溶膠一凝膠法制備TiO<,2>薄膜的影響。給出了旋涂法制備薄膜時薄膜層數(shù)和厚度以及附著力和厚度的關系。由于大量溶劑蒸發(fā)產生殘余應力,薄膜焙燒時容易龜裂,實驗過程中發(fā)現(xiàn)溶膠中添加適量聚乙二醇可以有效防止薄膜在焙燒過程中發(fā)生龜裂。對薄膜進行了450℃

2、~550℃溫度的熱處理,XRD測試分析表明,純TiO<,2>薄膜均為銳鈦礦和金紅石的混相結構,而摻雜Ce的薄膜均為銳鈦礦結構。表明摻雜Ce可以提高TiO<,2>的相變溫度,抑制TiO<,2>由銳鈦礦向金紅石狀態(tài)轉變,粒徑分析表明,各種制備條件下的薄膜粒徑均為納米量級,摻雜Ce可以顯著控制薄膜粒徑的生長。 制備了TiO<,2>薄膜氧敏元件。利用氣體敏感測試儀對元件的氧敏、阻溫、摻雜與電阻的關系進行了測試。結果表明TiO<,2>薄膜

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