電負(fù)性氣體射頻感性耦合放電不穩(wěn)定性研究.pdf

1、本課題組在過(guò)去開展了電正性氣體(Ar)射頻感性耦合放電模式轉(zhuǎn)化及受迫振蕩非線性研究，在此工作基礎(chǔ)上，本實(shí)驗(yàn)研究電負(fù)性氣體(SF6)射頻感性耦合放電，討論了不同條件下等離子體不穩(wěn)定性。由此更加深入地理解射頻感性耦合等離子體的放電模式轉(zhuǎn)化及不穩(wěn)定性的產(chǎn)生機(jī)制，為電負(fù)性氣射頻感性耦合等離子體工藝提供了實(shí)驗(yàn)基礎(chǔ)。
　　 在過(guò)去電負(fù)性氣體自振蕩工作中，僅研究了氣體壓強(qiáng)的變化對(duì)自振蕩的影響，并做了相關(guān)的理論分析，基于不同天線耦合強(qiáng)度的研究未

2、見報(bào)道。本論文利用Z-Scan測(cè)量系統(tǒng)，電流探頭以及Langmuir探針，通過(guò)測(cè)量等離子體吸收功率、天線電流、電壓、自振蕩的波形、頻率等多種參數(shù)，研究了匹配網(wǎng)絡(luò)、天線耦合強(qiáng)度、氣壓等多種因素對(duì)電負(fù)性氣體射頻感性耦合放電不穩(wěn)定性的影響。實(shí)驗(yàn)中首先對(duì)匹配網(wǎng)絡(luò)及天線線圈的阻抗進(jìn)行測(cè)量，計(jì)算出等離子體的凈吸收功率，提高了實(shí)驗(yàn)結(jié)果的可靠性。實(shí)驗(yàn)發(fā)現(xiàn)電負(fù)性氣體射頻感性耦合放電的自振蕩只出現(xiàn)在放電的負(fù)反饋區(qū)域。在不同的天線耦合強(qiáng)度下，電負(fù)性氣體的自振