小功率平面微帶螺旋電感耦合微波等離子體源的研究.pdf

1、射頻/微波電感耦合等離子體自上世紀九十年代初出現(xiàn)以來，以其突出的優(yōu)點和優(yōu)越的性能受到越來越多的關注和研究，但是由于射頻/微波電感耦合等離子體技術發(fā)展比較晚，目前還沒有成熟的理論和計算設計方法。隨著現(xiàn)代科技和MEMS工藝的發(fā)展，人們對電感耦合等離子體源的性能提出了更高的要求，所以如何有效地設計電感耦合等離子體源就成為電感耦合等離子體技術中的重點和難點。本文針對目前人們對小功率平面螺旋微波激勵的ICPS的需求，對平面微帶螺旋微波激勵的ICP

2、S進行了理論上的分析，進而對其參數(shù)進行了等效分析計算，分別用MATLAB和HFSS進行了仿真，以觀察電感線圈的匝數(shù)n、微帶線的寬度w、匝間距s等參數(shù)對天線性能的影響，尤其是對品質因數(shù)Q的影響。從MATLAB的仿真結果看，在固定的外直徑的情況下，匝數(shù)n、線寬w、間距s都分別存在一個最佳值，使得電感線圈的品質因數(shù)Q取得最大值；不同的外直徑，參數(shù)的最佳值是不同的；用HFSS對電感線圈不同的尺寸進行仿真；兩種結果進行比較，基本吻合。最后設計出2