小型非球面輪廓測(cè)量?jī)x的原理和應(yīng)用.pdf

1、光學(xué)元件的拋光精度取決于精磨精度,非球面光學(xué)元件的加工工序簡(jiǎn)略的可分為粗磨成形、精磨成形、拋光、檢測(cè).常規(guī)的非球面光學(xué)元件檢測(cè)是在元件拋光后進(jìn)行的,通過(guò)與之對(duì)應(yīng)的補(bǔ)償儀檢測(cè)其面形質(zhì)量,當(dāng)實(shí)際面形與理論面形有較大誤差時(shí),就必須把已經(jīng)拋光的元件重新精磨,再進(jìn)行拋光、檢測(cè),其加工工序是相當(dāng)繁復(fù)的.因此如果能對(duì)非球面光學(xué)元件精磨階段的面形進(jìn)行質(zhì)量控制,就能極大減少加工周期,從而降低生產(chǎn)成本,這一點(diǎn)對(duì)于非球面光學(xué)元件批量生產(chǎn)意義更大.該論文就是討

2、論了一種自行研制的非球面輪廓儀,主要用于非球面光學(xué)元件精磨階段面形的檢測(cè),文中主要介紹了小型非球面輪廓儀的工作原理、產(chǎn)生測(cè)量誤差原因的分析以及減小誤差的方法、輪廓儀精度標(biāo)定、使用輪廓儀進(jìn)行的各種實(shí)驗(yàn)以及實(shí)驗(yàn)結(jié)果分析,以及輪廓儀用于實(shí)際生產(chǎn)的情況.一般來(lái)說(shuō),高精度的非球面銑磨機(jī)床經(jīng)過(guò)誤差補(bǔ)償后其精磨面形精度的達(dá)到2um,因此通過(guò)輪廓儀的測(cè)量得到銑磨機(jī)床一次銑磨的誤差反饋數(shù)據(jù),就可對(duì)非球面銑磨機(jī)床一次銑磨進(jìn)行補(bǔ)償.通過(guò)多次實(shí)驗(yàn)以及數(shù)據(jù)處理、