小型非球面輪廓測量儀的原理和應(yīng)用.pdf

1、光學(xué)元件的拋光精度取決于精磨精度,非球面光學(xué)元件的加工工序簡略的可分為粗磨成形、精磨成形、拋光、檢測.常規(guī)的非球面光學(xué)元件檢測是在元件拋光后進行的,通過與之對應(yīng)的補償儀檢測其面形質(zhì)量,當實際面形與理論面形有較大誤差時,就必須把已經(jīng)拋光的元件重新精磨,再進行拋光、檢測,其加工工序是相當繁復(fù)的.因此如果能對非球面光學(xué)元件精磨階段的面形進行質(zhì)量控制,就能極大減少加工周期,從而降低生產(chǎn)成本,這一點對于非球面光學(xué)元件批量生產(chǎn)意義更大.該論文就是討

2、論了一種自行研制的非球面輪廓儀,主要用于非球面光學(xué)元件精磨階段面形的檢測,文中主要介紹了小型非球面輪廓儀的工作原理、產(chǎn)生測量誤差原因的分析以及減小誤差的方法、輪廓儀精度標定、使用輪廓儀進行的各種實驗以及實驗結(jié)果分析,以及輪廓儀用于實際生產(chǎn)的情況.一般來說,高精度的非球面銑磨機床經(jīng)過誤差補償后其精磨面形精度的達到2um,因此通過輪廓儀的測量得到銑磨機床一次銑磨的誤差反饋數(shù)據(jù),就可對非球面銑磨機床一次銑磨進行補償.通過多次實驗以及數(shù)據(jù)處理、