PPT的高精度微沖量測量技術(shù)研究.pdf

1、本文采用理論分析與實驗研究的方法，對固體燒蝕型脈沖等離子體推力器的微沖量測量技術(shù)進行了研究。
　　對C型管扭擺系統(tǒng)進行了誤差分析，建立了微沖量測量的數(shù)學(xué)模型和誤差傳遞公式。建立了光杠桿測量數(shù)學(xué)模型，并對C型管扭擺光杠桿結(jié)構(gòu)對測量結(jié)果的影響進行了研究。研究發(fā)現(xiàn)：兩相對平面鏡的平行度不會影響所測沖量與PSD信號的線性關(guān)系，但會影響測量的系統(tǒng)誤差；圓反射鏡的安裝誤差對測量結(jié)果影響較小。
　　通過分析C型管扭擺測量系統(tǒng)所處的電磁環(huán)境

2、，并結(jié)合實際情況對C型管扭擺測量系統(tǒng)采取了線路屏蔽和信號濾波兩種電磁兼容方法來減小測量信號中的電磁干擾。研究表明：電磁干擾主要來源為真空設(shè)備工作時產(chǎn)生的電磁輻射；通過采取線路屏蔽、增加信號濾波器等方法，能有效衰減測量信號中的白噪聲，提高測量信號的信噪比。
　　利用C型管扭擺微沖量測量系統(tǒng)對PPT產(chǎn)生的元沖量進行了測量，對測量結(jié)果進行了誤差分析。研究發(fā)現(xiàn)：測量誤差由標定誤差、光斑位移誤差、沖量作用力臂誤差等部分組成，其中光斑位移誤差