平板激光偏振分光膜的設(shè)計(jì)與制備.pdf_第1頁(yè)
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1、隨著光學(xué)薄膜技術(shù)的不斷發(fā)展，光學(xué)薄膜器件的應(yīng)用日益廣泛，光學(xué)薄膜的研究已被提到了極其重要的地位。為了制備出大功率激光器中激光偏振膜，本課題從鍍膜材料特性、膜系設(shè)計(jì)、沉積工藝等方面對(duì)這一問(wèn)題展開(kāi)了深入的研究。 本文從薄膜光學(xué)基本理論和膜系設(shè)計(jì)理論方面闡述了抗激光損傷薄膜的原理，簡(jiǎn)要介紹了影響光學(xué)薄膜穩(wěn)定性的各種因素，選用HfO<,2>、SiO<,2>作為鍍膜材料，試驗(yàn)在Integrity-36全自動(dòng)真空鍍膜機(jī)上完成，利用電子束和離

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