衍射光學中的嚴格耦合波分析方法.pdf

1、中國科學技術大學博士學位論文衍射光學中的嚴格耦合波分析方法姓名：陳德偉申請學位級別：博士專業(yè)：光學指導教師：李永平20040501中國科學技術人學博十學位論文摘要比同時增加或者同時減小時可以允許人約10％的誤著如果。i空比不是同時增加和同時減小，此時只能允許4％的誤籌。4、采用兩種思路設計了一種用丁光束采樣的變周期光柵，先從一維矩形光柵的衍射特性與采樣光柵的特性對比開始。將一維矩形光柵結構作一定的改變設計出采樣光柵，發(fā)現(xiàn)采樣光柵就是菲涅

2、爾波帶片的一離軸區(qū)域，用波帶片的環(huán)帶公式得到與川光柵公式計算相同的結論。最Jl亓用RCWA方法對其衍射特性進行了詳細分析，并對要求嚴格的采樣光柵進行了刻蝕深度的寬容度分析。5、以RCWA方法為主要計算方法構建了一套運行yMatlab平臺上的衍射光柵分析軟什。該軟件簡單易_|=Ij它將各種光柵結構分為不同的兒人類別，使用者只需要在相麻的光柵類別中輸入自己的參數，然斤簡單的點擊兒個按鈕就能得到分析結果。該軟件界面友好，光柵模型、光柵參數平【