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1、河北師范大學(xué)碩士學(xué)位論文氮離子在射頻電極的能量分布及電子碰撞率數(shù)值模擬研究姓名：趙海濤申請學(xué)位級別：碩士專業(yè)：凝聚態(tài)物理指導(dǎo)教師：張連珠20100406IVAbstractIncapacitivecouplingrfglowdisgeofnitrogenenergyangledistributionofionsatelectrodeisnumericallysimulatedbyusingtheofPIC–MCCmethod.Atthe
2、sametimewesimulatedthedissociationrateionizationrateexcitationratedissociativeionizationrateofelectronatallthedisgeroom.Throughtheprocessofsimulationwenotonlyconsideredtheallkindsofcollidesofelectronnitrogenbutalsoionsni
3、tron.Sincethevalueofsectionofallkindsofcollideshasbigdiffrenceweonlyconsiderdtheelasticcollisionsgeexchangecollisionsofionsnitrogen.Igningthecollisionsofelectronicion.Specificwkshownbelow:1EstablishedthePICMCChybridmodel
4、ofthenitrogenrfplasmadisgeinthefieldofgedparticlemovementtheselfconsistentwaybythePICtheprocessofcollisionbetweenparticlesbyMCCmethod.usingFtranlanguageamodelofcombiningthePICMCCwaswritedtosimulatetheprocessofnitrogenrfd
5、isge.2Thecalculationofnitrogenrfplasmaenergyangledistributionofionsattheelectrodeitsdistributionwithdisgepressurevoltageamplitudevariation.3Calculatingthenitrogenrfplasmadisgeinthespaceofdissociationrateelectronicionizat
6、ionratesthedistributionofdissociationratealsosimulatedwiththedisgepressurethechangesofthevoltageamplitude.4Indertoensuretheaccuracyoftheprocedurethenitrogenelectronicenergydistributionofexperimentalresultswerecomparedthe
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